1.SESC/GEM介绍

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如果想要了解什么是SECS/GEM，首先我们要先知道SECS/GEM中的SECS是什么，GEM又是什么，他们都起着什么样的作用

• 为什么会产生SECS/GEM

半导体厂所需的半导体生产设备来自不同的国家和不同的公司，正是这些设备串起了半导体厂的生产线，那么不同的生产设备之间如何进行协作生产呢？因此必须制定一个机台间标准的通讯方法以及通讯资料格式。

• SECS/GEM是什么

SECS 是半导体设备通信标准的首字母缩略词。GEM 是指 SEMI E30 标准，它使用 SEMI E5标准中定义的消息类型的子集来描述设备行为和通信的通用模型。SECS/GEM 接口的部署通常会使用 SEMI 标准 E37 和 E37.1 指定的 TCP/IP 网络，但标准 E4 中也可使用 RS-232 串行连接。后者在较旧设备中更为常见。SEMI 标准具有速记名称及其官方标识符，因此 E4、E5 和 E37 也分别称为 SECS-I、SECS-II 和 HSMS。

• SECS/GEM的作用

SECS/GEM标准定义了一个可以在任何设备上使用的标准化接口。GEM接口通过状