4.GEM详细介绍

乔先生*

已于 2022-04-23 19:23:48 修改

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分类专栏： GEM SECS/GEM 文章标签：规格说明书

于 2022-04-01 23:17:48 首次发布

本文链接：https://blog.csdn.net/qq_44447149/article/details/123910401

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GEM（Generic model for communications and control of manufacturing equipment）是一种设备控制通讯协定，旨在简化半导体设备的研发。GEM规范包括建立连接、资料收集（如事件告知、动态事件回报规划等）、警报管理、远程控制、设备常数、制程程序管理、材料搬移、设备终端服务、错误信息和时间等功能，通过特定的Stream Function实现设备与主机间的交互。

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设备控制用通讯协定GEM
GEM(Generic model for communications and control of mau=nufacturing equipment),之前介绍过SECS II是半导体设备主机的一个
标准通讯协定，但实际在设备上并非全部会使用到。因此，若可找出设备控制上所需要用的功能项，并同时针对这些功能项来开发程式，以及设计机台，则可以省下许多研发费用。于是，Global Information & Control committee在1992年提出了GEM的规范，只要满足GEM所定的规范与功能需求的设备，即可称之为满足SECS I,SECS II与GEM的设备。

用图来表示

符合GEM规范的设备具有以下的功能以及处理信息的能力
1.建立连接
1. 建立通讯（Establish Communications）：主机与设备互相要求对方建立连接，相关的Stream Function为S1F1/S1F2,S1F13/S1F14
2.资料收集
2.1 事件告知（Even Notification）:在设备Running中，自动回报特定的资料给Host。Host无需以主动询问的方式来获得设备资料，相关Stream Function为S6F5/F6,S6F11/F12与S6F15/F16

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