2.SECS通讯之SECS Message (Stream Function)

IC由产生到封装完成，所需的制造程序复杂，所需用到到半导体机台或半导体材料超过千种！！为确保晶圆在每一道制程均能做到完美，或排除前一制程的不良品，生产的过程中不断地由来自主机或设备的运转信息要相互传递，因此SEMI将SECS的主要讯息分类为：
        1.机台状态
        2.机台控制及诊断
        3.材料状态
        4.材料控制
        5.例外处置
        6.资料收集
        7.机台操作管理
        8.控制成勋传送
        9.系统错误
        10.终端机服务
        11.主机档案服务
        12.晶圆定位
        13.资料组传送
        14.物件服务
        15.配方管理
        16.程序处理管理
        17.子系统控制与资料
这些主要讯息内包括的宠用子讯息为：

• 1.要求建立连接：主机与设备建立连接
• 2.机台操作配方：指定机台的运作的程序及执行参数
  
  在SECS的标准中，又将这些讯息分以不通的Stream Number 搭配不同的Function Number来表示，首先以Stream Number来区分不同的信息种类，再以Function Number来分类信息含义，Stream Number的取值范围0~127；Function Number的取值范围0~255,并以SnFm来表示