【Sentaurus TCAD仿真】几种基础操作

工程的新建与保存

先新建一个工程如下

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在这个地方添加要使用的工具

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然后选择需要使用的工具

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这个时候需要的工具就建好了
我们需要保存这个工程

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此时左侧工具栏就能看见我们新建的这个工程
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右击可以对该工程进行剪切、复制、删除、重命名等操作。
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添加变量

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添加和删除一行实验

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添加后的效果如下所示:
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删除实验:
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修改节点数值

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运行与停止

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运行节点时不同的颜色代表目前的状态
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删除节点信息

当内存不足时,没必要删除整个Project,只需要 Clean up 节点信息即可。因为占用内存的主要部分是.plt.tdr文件数据,Command文件是不占用多少内存的,下次需要此工程仿真结果重新运行即可。
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重新编排节点号

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当节点号有时候排序混乱的时候,我们需要重新编排节点号
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Sentaurus TCAD是一种用于半导体器件工艺仿真的软件。CMOS反相器是一种常见的数字电路,在电子设备和集成电路中广泛应用。 利用Sentaurus TCAD进行CMOS反相器的工艺仿真主要分为以下步骤: 1. 绘制器件结构:首先,我们需要在软件中绘制CMOS反相器的器件结构。这包括绘制NMOS和PMOS晶体管的栅极、源极和漏极,并确定它们的尺寸和位置。 2. 材料参数设置:在绘制完器件结构后,我们需要设置材料的相关参数,如禁带宽度、迁移率、载流子浓度等。这些参数将直接影响器件的电特性。 3. 模拟器件操作:根据CMOS反相器的工作原理,我们可以利用Sentaurus TCAD模拟器件的操作。例如,我们可以输入相应的电压信号到NMOS和PMOS晶体管的栅极,控制晶体管的导通和截止。 4. 电特性分析:在模拟器件操作后,我们可以获得器件的电特性数据。例如,我们可以获得反相器的输入输出电压关系图(电压传输特性),评估其放大和放大倍数等参数。 5. 优化和改进:根据仿真结果,我们可以进一步对CMOS反相器的结构和参数进行调整和优化。例如,我们可以改变晶体管的尺寸、改变电压供应等,以改善电特性和性能指标。 通过利用Sentaurus TCAD进行CMOS反相器的工艺仿真,我们可以有效地评估器件的性能和优化器件的工艺参数。这有助于指导实际制造过程中的工艺设计和性能改进。
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