XPS学习笔记(一)

XPS全称为(X-ray photoelectron spectroscopy)，即X射线光电子能谱。主要用于分析材料表面化学元素的组成，化学价态及分布。

XPS图谱代表了原子能级的分布情况，不同元素原子的分布不同，XPS能谱的特征峰也就不同，从而可以区别不同元素。

原子中单个电子的运动状态可以用4个量子数$n$，$l$，$m_{\mathrm{l}}$，$m_{\mathrm{s}}$来描述。

• $n$为主量子数，电子的能量主要就取决于$n$，$n$值越大，电子能量越高。$n$的取值范围为$n=1，2，3，\mathrm{4...}$，分别对应K，L，M，N，…电子壳层。
• $l$为角量子数，决定了电子云的几何形状，不同的l值对应电子壳层的几个亚层，即能级。l的取值范围为$l=0，1，2，3，...，（n-1）$。通常用$s，p，d，f...$来表示。具体来说，当$n=1$时，$l$只能取0；$n=2$时，$l$可以取0，1。以此类推。在给定壳层的能级上，电子的能量随着l值的增加略有增加。
• $m_{\mathrm{l}}$为磁量子数，决定了电子云在空间的取向。取值范围为$m_{\mathrm{l}}=0，\pm 1，\pm 2，...\pm l$。即若l=0，$m_{\mathrm{l}}$只能为0；若l=1，则$m_{\mathrm{l}}=-1,0,+1$；以此类推。
• $m_{\mathrm{s}}$为自旋量子数，表示电子自旋的取向，可以取+1/2和-1/2两个值。

内量子数$j$是起源于自旋轨道耦合作用(SOC)引起的能级分裂，其主要对于$l>0$的内壳层起作用，取值为：$j=l+m_s，l-m_s，m_s=1/2$。当l=0时，j=1/2；当l=1，j=3/2，1/2。以此类推。也就是说，除了s亚壳层(l=0)外，l>0的各亚壳层都会分裂成2个能级，体现在XPS图谱上就是双峰。

由于电子能谱实验通常是在无外磁场作用下进行的，所以磁量子数$m_{\mathrm{l}}$是简并的。在电子能谱中，用n、l 和j 三个量子数来表征内层电子的运动状态。举例来说，XPS图谱中$3{\mathrm{d}}_{5/2}$中3，d，5/2分别为n，l，j。即单个原子能级用两个数字和一个小写字母表示。

上图为C1s，Ti2p，W4f和Ag3d的XPS能谱图，值得注意的是C1s中n=1，l=0，因而只出现了单峰，其余l>0的元素出现了XPS双峰。