一些概念
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非球面元件
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CCOS计算机控制光学表面成型
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局部线性插值模型以取代传统的Zernike多项式拟合模型
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非球面加工过程中,曲率半径控制
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非球面数控加工中心FSGJ-1-非球面自动加工及在线检测机床
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表面误差的功率谱密度PSD分析方法
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基于模糊综合评判理论的CCOS抛光模型
一些思路
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精磨的效果影响抛光过程。一是精磨表面会有破坏层的存在,破坏层过深,效率降低;采用散粒磨料则表面光洁度低,不利于干涉计量,定量抛光。换为金刚石磨料,则破坏层深度低,表面光洁度高。提高加工精度及效率