导体物理的基本方程包括:泊松方程、连续性方程、输运方程、位移电流方程等。
1. 泊松方程:描述的是电势与空间电荷密度的关系。
2. 连续性方程:描述的是栽子浓度的时空变化关系:一是载流子的产生,二是载流子的复合,三是载流子的漂移与扩散而引起。
3.输运方程:通过对玻尔兹曼输运方程的简化得到电流密度方程或电荷输运模型,这些假设可以导致许多不同的输运模型,如漂移-扩散模型、能量平衡模型、流体动力模型等。电荷输运模型的选择主要影响产生和复合模型的选择。
最简单的模型是漂移扩散模型,几乎对所有的器件都适用,但对小的特征尺寸问题不太准确。因此,更先进的能量平衡和流体动力学模型在模拟深亚微米器件方面越来越受欢迎。电荷输运模型与载流子的统计有关。
1)漂移-扩散模型:描述的是电流的产生是由漂移电流及扩散电流共同引起的。
2)能量平衡模型:一般玻尔兹曼传输方程的高阶解包括电流密度与载流子温度或能量的附加耦合,该模型修正了漂移-扩散模型的电流密度表达式,使其包含这一额外的物理关系。
4. 位移电流方程:对于时域仿真,必须包含位移电流方程