130纳米制程，又稱0.13微米製程，是半导体制造制程的一个水平，大约于2000年至2001年左右达成。 这一制程由当时领先的半导体公司如英特尔、德州仪器、IBM和台積電所完成。

130纳米制程，又稱0.13微米製程，是半导体制造制程的一个水平，大约于2000年至2001年左右达成。 这一制程由当时领先的半导体公司如英特尔、德州仪器、IBM和台積電所完成。

半导体器件制造
金屬氧化物半導體場效電晶體
10 µm – 1971 6 µm – 1974 3 µm – 1977  1.5 µm – 1981 1 µm – 1984 800 nm – 1987 600 nm – 1990 350 nm – 1993 250 nm – 1996 180 nm – 1999 130 nm – 2001 90 nm – 2003 65 nm – 2005 45 nm – 2007 32 nm – 2009 22 nm – 2012 14 nm – 2014 10 nm – 2016 7 nm – 2018 5 nm – 2020 3 nm – 2022
未來 2 nm ~ 2024
晶體管數量 互補式金屬氧化物半導體 半导体器件（多閘極電晶體） 摩尔定律 晶體管數量 半导体 半导体产业 纳电子学

一些CPU最初是由这个制程所制造。其中包括英特尔奔腾III Tualatin处理器。这是第一个沟道长度小于用于光刻的光的波长的制程。

使用130纳米制程技术的处理器

• 摩托罗拉PowerPC 7447和7457 - 2002年
• IBM Gekko（任天堂GameCube） - 2002年10月至2003年6月
• IBM PowerPC G5#PowerPC 970 - 2002年10月至2003年6月
• 英特尔奔腾3 Tualatin和Coppermine - 2001年4月
• 英特尔赛扬 Tualatin-256 - 2001-10-02
• 英特尔奔腾M Banias - 2003-03-12
• 英特尔奔腾4 Northwood- 2002-01-07
• 英特尔赛扬 Northwood-128 - 2002-09-18
• 英特尔Xeon Prestonia和Gallatin - 2002-02-25
• VIA C3 - 2001
• AMD AMD Athlon Thoroughbred、Thorton和Barton
• AMD Athlon MP Thoroughbred - 2002-08-27
• AMD Athlon XP-M Thoroughbred、Barton和Dublin
• AMD AMD Duron Applebred - 2003-08-21
• AMD K7 AMD Sempron Thoroughbred-B、Thorton和Barton - 2004-07-28
• AMD K8 AMD Sempron Paris - 2004-07-28
• AMD AMD Athlon 64 Clawhammer和Newcastle - 2003-09-23
• AMD Opteron Sledgehammer - 2003-06-30
• Elbrus 2000 1891ВМ4Я (1891VM4YA) - 2008-04-27 
• MCST-R500S 1891BM3 - 2008-07-27 
• Vortex 86SX - 
• nVIDIA GeForce 5

参考文献

1. ^  Mueller, S. . informIT. 2006-07-21 [2012-05-11]. （原始内容存档于2015-04-27）.
2. ^  Myslewski, R. . TheRegister. 2011-11-15 [2015-04-19]. （原始内容存档于2015-04-27）.
3. ^  （俄文） . Mcst.ru. [2015-09-10]. （原始内容存档于2015-06-23）.
4. ^  （俄文） . Mcst.ru. [2015-09-10]. （原始内容存档于2015-11-01）.
5. ^  . Dmp.com.tw. [2015-09-10]. （原始内容存档于2015-08-23）.

先前 180纳米制程

半导体器件制造制程

其後 90纳米制程

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