薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称TFT)是一种器件。TFT式显示屏是各类笔记本电脑和台式机上的主流显示设备,该类显示屏上的每个液晶像素点都是由集成在像素点后面的薄膜晶体管来驱动,因此TFT式显示屏也是一类有源矩阵液晶显示设备。是最好的LCD彩色显示器之一,TFT式显示器具有高响应度、高亮度、高对比度等优点,其显示效果接近CRT显示器。
同时,TFT式屏幕也普遍应用于中高端彩屏手机中,分65536 色、16 万色,1600万色三种,其显示效果非常出色。
TFT是指液晶显示器上的每一液晶像素点都是由集成在其后的薄膜晶体管来驱动。从而可以做到高速度高亮度高对比度显示屏幕信息,TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)是多数液晶显示器的一种。
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以下是工艺流程
Ⅰ、阵列(Array)工艺
该工艺是在玻璃基板上制作除数百万个薄膜晶体管,晶体管在TFT-LCD工作时起电路开关作用,它们按顺序把图像信号传输至对应像素,薄膜晶体管阵列由多层不同材料和形状的薄膜晶体管层叠而成,
包括4-5次薄膜电机和光刻成型过程。
首先使用清洗剂和超纯水清洗玻璃基板,去除表面的异物,然后是成膜工序,需要在玻璃基板上形成金属、半导体或绝缘体的薄膜,在干净的玻璃表面,通过溅射淀积(Sputter)形成金属薄膜(在真空环境中用电场加速惰性元素离子轰击金属,金属原子被电机出来溅射到基板上形成薄膜&