SCREEN Semiconductor Solutions与台湾国立清华大学携手成立电子束直写光刻试产线，以实现具有唯一ID的安全芯片

日本京都--(美国商业资讯) --2018年4月20日，SCREENSemiconductor Solutions Co., Ltd. (SCREEN)与台湾国立清华大学(NTHU)在启动12英寸硅片多电子束直写光刻(MEB12)项目的庆祝仪式上签署了一份谅解备忘录(MoU)。

 

NTHU将与国际半导体设备和软件供应商联手成立首个多电子束直写(MEBDW)创新性半导体产学联盟，旨在开发顶尖的无掩模光刻技术。MEBDW光刻技术可实现“片上安全”(on-chip security)，使台湾成为世界上首个实现具有唯一ID的安全芯片的研发和试生产的地区，能够为互联网、人工智能、电子支付以及汽车芯片提供信息安全保障。

 

MEB12项目参与者包括全球唯一一家商用MEBDW光刻设备制造商——来自荷兰的MapperLithography B.V.和美国设计软件供应商新思科技有限公司(Synopsys, Inc.)，SCREEN将利用DUO光刻胶/显影系统(developtrack)及SU-3200单一硅片清洗系统为MEB12项目提供支持。

 

作为MEB12项目发起人之一，NTHU电气工程系教授兼纳米技术、材料科学与微系统中心主任邱博文教授指出：“本项目是利用台湾在半导体制造业中极强渗透能力的成功典范，我们与国际半导体巨头成立联盟，在学校建立最先进的商用12英寸MEBDW光刻工艺生产线，使台湾国立清华大学成为全球首个拥有这一独特研发能力的大学。”

 

SCREEN Semiconductor Solutions总裁TadahiroSuhara表示：“我们很高兴能够为台湾国立清华大学提供支持，助力其引领MEB12联盟的成立和发展。这进一步彰显了我们的SCREEN设备技术和资源带给创新性物联网技术应用的价值。”

 

MEB12联盟允许台湾和亚洲邻国半导体IC设计和制造公司以会员身份加入，携手开发创新性芯片产品。据邱教授称，“除研发安全芯片之外，该联盟还可作为无掩膜IC设计认证平台，通过显著降低光掩模不断攀升的成本，助力新成立的IC设计公司捱过初始阶段的艰难期，同时还可为利基型应用提供具备高分辨率和高图形灵活性的低成本晶圆代工服务”

 

关于台湾国立清华大学(NTHU)

 

台湾国立清华大学前身为1911年在北京设立的清华学堂。1956年，台湾国立清华大学在如今位于台湾新竹市的校址上进行了复校。台湾国立清华大学自复校以来，已发展成一所综合性研究型大学，设置有全面的学位课程，涵盖科学、技术、工程学、人文学科、社会科学以及管理学等各类学科。学校始终位居东亚最顶尖高等学府之列，并作为领先的未来领袖孵化场所而获得广泛认可。

 

关于SCREENSemiconductor Solutions Co., Ltd.

 

SCREENSemiconductor Solutions为 SCREEN Holdings集团旗下子公司，该公司从其前身DainipponScreen继承了半导体设备业务。SCREEN是一家专业制造商，业务遍及晶圆清洗设备、光刻设备和热处理等各个领域，是半导体制造业全球前十大设备供应商之一。