微型光学机械压力传感器设计：开发一个温和的大脑分析神经探头---凯利讯半导体

　　人类的大脑通过神经元的活动协调我们的感知，想法和行动。神经科学家正努力通过使用能够在行为期间以单神经元和单钉解决方案分离，识别和操纵神经元的方法来理解大脑的功能。神经探针在细胞外记录，脑机接口(BMI)和深部脑刺激(DBS)方面已经取得了成功，但是在一些新的应用中，例如脑图，神经元功能的恢复以及脑疾病的研究也是成功的。理想情况下，神经探针阵列应该具有良好的生物相容性，具有高信噪比的高密度电极，通过柔性电缆的互连能力，高度集成的电子架构，

　　为了能够在大脑的多个区域中大规模记录单个神经元，神经探针中需要高密度和大量的电极。不幸的是，最新的高密度CMOS神经探头有一个大的“小腿”，这是探针的一部分植入大脑区域。这个“小腿”部分需要尽可能薄，以免干扰或损害正常的大脑功能; 现在，它们并不像神经科学家所希望的那么小。另外，目前的电子设计架构并不是最优的。探头设计由大量的放大和缓冲神经信号的小型有源电极组成。CMOS像素放大器(PA)在极小的空间内位于电极之下，由于空间不足，信号处理被强制在探针的底部处理。

　　MOM压力传感器

　　我们从压力传感器设计开始。有MEMS压力传感器，电容式和压电式，体积小，性能相当好。还有光纤传感器，具有超敏感性和低噪声的特点，但是在一个不太集成的设计结构中是最佳的。