Laser-induced CVD

最新推荐文章于 2022-10-28 20:35:47 发布
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分类专栏： 二维纳米材料光学特性的测量 文章标签： CVD-纳米材料
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版权

What’s CVD?

化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition），制备薄膜的一种技术.
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Advantages

  • High grow rates
  • can deposit materials which are hard to evaporate
  • good reproducibility
  • can grow epitaxial films

Disadvantages

  • high temperatures
  • complex process
  • toxic and corrosive gasses

Process

  1. 反应气体（原料气体）到达基体表面
  2. 反应气体分子被基体表面吸附
  3. 在基体表面上产生化学反应，形成晶核
  4. 固体生成物在基体表面解吸和扩散，气态生成物从基体表面脱离移开
  5. 连续供给反应气体，涂层材料不断生长

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东门之杨
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