Ansys Zemax | 表面不规则度的公差分析

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平行平板表面不规则度分析

本文主要介绍Opticstudio如何对表面不规则度进行公差分析：

• 如何使用公差操作数TEZI指定RMS公差

• 表面不规则度的频率参数和RMS振幅参数如何影响波前传输

透镜表面不规则度的不确定性使得其公差分析不那么简单。通常情况下，透镜供应商通过对样品的平均表面误差进行测量得出RMS公差并提供给使用者。表面不规则度通常用“平滑度 λ/10 或者 λ/20”来形容。

首先，我们做如下假设：

• 初始表面类型为标准面或者偶次非球面

• 用Zernike多项式系数表示表面公差。因为如果用干涉仪对表面进行测试，那么干涉仪测量软件会将表面公差用Zernike多项式的形式表示出来。此时用Zernike多项式系数来表示表面公差会是一个非常好的选择。

在公差分析的过程中，OpticStudio会用Zernike标准矢高面来代替标准面/偶次非球面，用Zernike多项式系数表示与原始面之间的误差。如果想要详细了解Zernike标准矢高面 ，请查阅用户手册。请注意，表面不规则度的RMS幅值不能确定表面不规则的形状。

公差分析

接下来，我们看一个小例子，系统的3D Layout 图以及LDE图如下所示：