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平行平板表面不规则度分析
本文主要介绍Opticstudio如何对表面不规则度进行公差分析:
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如何使用公差操作数TEZI指定RMS公差
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表面不规则度的频率参数和RMS振幅参数如何影响波前传输
透镜表面不规则度的不确定性使得其公差分析不那么简单。通常情况下,透镜供应商通过对样品的平均表面误差进行测量得出RMS公差并提供给使用者。表面不规则度通常用“平滑度 λ/10 或者 λ/20”来形容。
首先,我们做如下假设:
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初始表面类型为标准面或者偶次非球面
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用Zernike多项式系数表示表面公差。因为如果用干涉仪对表面进行测试,那么干涉仪测量软件会将表面公差用Zernike多项式的形式表示出来。此时用Zernike多项式系数来表示表面公差会是一个非常好的选择。
在公差分析的过程中,OpticStudio会用Zernike标准矢高面来代替标准面/偶次非球面,用Zernike多项式系数表示与原始面之间的误差。如果想要详细了解Zernike标准矢高面 ,请查阅用户手册。请注意,表面不规则度的RMS幅值不能确定表面不规则的形状。
公差分析
接下来,我们看一个小例子,系统的3D Layout 图以及LDE图如下所示:
为了简单起见,本例的系统结构为平板,当然,我们可以用偶次非球面面型设置各种形状的表面。打开公差数据编辑器( Tolerance Data Editor ),按照下图数据设置公差:
Surf : 进行不规则度分析的表面编号;
MAX# / MIN# :Zernike多项式最高阶/最低阶次数。
一般情况下,如果MAX#数值较小,那么表面不规则度的频率就会降低,表面凹凸就不明显,反之,如果MAX#数值较大,那么表面不规则度的频率就会升高,表面凹凸剧烈(下面我们会详细讨论)。
MAX#数值的选择需要根据实际生产的零件而定,使其能够与实际生产过程匹配。同时,公差分析过程中,OpticStudio会忽略Zernike多项式的第一项,因此Min#的最小值为2。
本例中我们先将MAX# 和MIN#设置为2和9。
打开Tolerance > Tolerancing,按如下步骤进行公差分析:
点击OK进行公差分析,公差分析报告如下图所示:
表面不规则度分析
打开保存的蒙特卡洛分析文件(本例中我们只保存了一个计算结果,当然我们也可保存所有计算结果)。注意观察此时表面2的面型已经变为Zernike Standard Sag surface。
打开表面矢高分析图并选择表面2:Analysis > Surface > Sag
如果我们将MAX#设置为27,重新进行公差分析。再次打开表面矢高分析图,可以看到相似的结果,但是产生了更多的“凹凸”。
Zernike多项式次数可以控制表面波峰和波谷(凹凸)的频率。
这是很重要的一点:当我们把表面平滑度从 λ/5 减小到 λ/10 、λ/20、 λ/50时,RMS表面偏差减小了,但是表面“凹凸”频率增大了。也就是说当表面平滑度为λ/5,其表面不规则度的空间频率小,当表面平滑度为λ/50时,其表面不规则度的空间频率大。
表面的光学性能不仅仅取决于RMS幅值还取决于表面不规则度的空间频率。我们可以举例说明这一点,我们可以举一个简单的例子。
系统中表面2在Y方向上有一个周期性的结构。在保持振幅不变的情况下,当周期结构的频率增加时,从3D Layout图中就可以看到两者的差异。
当然,OpticStudio 中也可以使用公差操作数TEXI指定PTV(Peak to Valley)公差,两种使用方法类似,但目前我们推荐使用TEZI指定RMS公差分析表面不规则度。
总结
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需要使用蒙特卡罗分析对表面不规则度进行公差分析,可以用TEZI或TEXI公差操作数自动生成表面的不规则;
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对表面不规则度公差分析时,需要同时考虑RMS幅值和表面不规则度空间频率。