本文详细介绍了EDS（能谱仪）的工作原理、结构和分析技术，包括定性分析、定量分析以及元素的面分布分析。在扫描电镜和透射电镜中，EDS能快速、稳定地分析材料化学成分，适用于粗糙表面和成分偏析的测量。实验设备如NORAN System SIX被用于进行EDS分析。
EDS
元素分析
一、实验目的
1.
了解能谱仪(
EDS
)的结构和工作原理。
2.
掌握能谱仪(
EDS
)的分析方法、特点及应用。
二、实验原理
在现代的扫描电镜和透射电镜中，能谱仪(
EDS
)是一个重要的附件，它同主机共用一
套
光学系统，可对材料中感兴趣部位的化学成分进行点分析、面分析、线分析。它的主要优
点有：
(
1
)分析速度快，效率高，能同时对原子序数在
11
—
92
之间的所有元素(甚至
C
、
N
、
O
等超
轻元素)进行快速定性、定量分析；(
2
)稳定性好，重复性好；(
3
)能用于粗糙表面
的成
分分析(断口等)；(
4
)能对材料中的成分偏析进行测量，等等。
(一)
EDS
的工作原理
探头接受特征
X
射线信号→把特征
X
射线光信号转变成具有不同高度的电脉冲信号→放
大
器放大信号→多道脉冲分析器把代表不同能量(波长)
X
射线的脉冲信号按高度编入不同
频道→
在荧光屏上
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