SEM测试能谱EDS

在做扫描电子显微镜（SEM）测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对能谱EDS不太了解，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

能谱EDS的采样深度大约为1 μm，可对试样微区内Be~U范围内的元素进行分析。根据扫描方式的不同可分为点扫、线扫和面扫。点扫和线扫都是对样品的某一位置进行微区元素分析，两者区别是扫描能谱的面积大小不一。点扫可以给出扫描元素的相对含量，测试准确性较高，常用于显微结构的成分分析。面扫是对样品某一区域的元素分布进行观察。

图1对样品的某一位置进行能谱点扫得到的元素图

表1样品的相对元素含量

Element	Weight %	Atomic %	Error %
C K	48.96	54.94	5.15
N K	27.91	26.85	19.29
O K	21.35	17.99	12.55
AgL	1.78	0.22	20.03

EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上，进行定性或者定量的分析。如图1所示是能谱点扫给出的峰型图，每一种元素在图中会出现一种峰，由此可以看出样品中所含有的元素，同时，也会相对应的给出如表1所示的元素相对含量表，表中数据展示了相对质量分数和相对原子分数及误差，误差越大表示元素的相对含量可信度越低。

图2对样品进行线扫的结果图

EDS 线扫描分析是电子束沿一条线对样品进行扫描，能得到元素含量变化的线分布曲线。结合样品形貌像对照分析，能直观获得元素在不同区域的分布情况。图2可以看出，元素含量的差异与形貌结合可以分析样品结构上的差异。

图3对样品进行面扫的结果图

EDS 面扫描分析是电子束在样品表面扫描，试样表面的元素在屏幕上由亮度或彩色表现出来，常用来做定性分析。亮度越高，元素含量越高，结合形貌像常用于成分偏聚、相分布的研究中。从图1-11中可以看出元素分布的差异，结合形貌图对样品进行定性分析。

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