基片集成波导原理_综述：光波导相控阵技术研究

摘要：

在简述电光效应和热光效应的基础上综述了国内外光波导相控阵技术研究进展，包括一维和二维光波导相控阵的技术途径、结构特点和性能指标，给出了光波导相控阵的优势以及在激光雷达、成像等领域的应用前景。结果表明，光波导相控阵技术正向着大扫描角度、高扫描精度、高响应速率、低控制电压、高集成度的方向发展。

关键词：

光波导相控阵；电光效应；热光效应；扫描角度；扫描精度

1.引言

光学相控阵技术是一种新型光束偏转控制技术，具有灵活、高速率、高精度等特点。目前研究较多的是液晶光学相控阵、光波导光学相控阵以及微机电(MEMS)系统光学相控阵。已有综述性文章，对各种光学相控阵技术进行了综述，本文拟在以上综述性文献的基础上，考虑到光波导相控阵的优势，侧重于基于电光效应和热光效应的光波导相控阵的研究综述。首先回顾光波导相控阵的原理，然后综述国内外光波导相控阵的研究进展，最后给出光波导相控阵的