spad 探测器_大面阵SPAD阵列集成微透镜阵列，填充因子改善明显

据麦姆斯咨询报道，基于CMOS制造工艺可实现大面阵、单片式单光子雪崩光电二极管(SPAD)阵列，并受到如3D成像、荧光寿命成像等各种应用的青睐，但常常受到低填充因子(fill factor，指感光区域面积与像元面积的比值)的困扰。SPAD填充因子的数值通常小于5%，当然如果牺牲一些功能，如删除计时电路设计，SPAD阵列填充因子也可以高达60%。
将大面阵SPAD阵列与微透镜阵列进行集成设计，可以大大提高其探测效率。微透镜阵列利用折射原理或者衍射原理，将入射光集中到感光区域。近日，英国赫瑞瓦特大学(Heriot-Watt University)、英国爱丁堡大学(The University of Edinburgh)、美国博伊西州立大学(Boise State University)和意大利米兰理工大学(意大利语：Politecnico di Milano)的研究人员在美国光学学会(Optical Society of America, OSA)旗下期刊Optica上发表论文：《可提高填充因子的CMOS SPAD阵列与高浓度因子衍射微透镜集成设计》(High concentration factor diffractive microlenses integrated with CMOS single-photon avalanche diode detector arrays for fill-factor improvement)，公布了专为大面阵SPAD阵列设计的微透镜阵列的研究成果。
文中介绍了为两款32 x 32硅基CMOS SPAD阵列设计的衍射微透镜阵列，目的均是提高SPAD阵列有效填充因子，从而提高在低光子环境下的单光子探测效率(SPDE)。其中一个SPAD探测器阵列MF32的感光区域面积直径