曝光机与曝光能量_LDI曝光机能量均匀性检测方法与流程

本发明提出一种LDI曝光机能量均匀性检测方法,通过设计特定曝光图形文件,检测精度高,能有效判断曝光机内能量差异,确保线路精密性,减少生产板报废现象。

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本发明涉及LDI曝光机性能检测技术领域,尤其是涉及一种LDI曝光机能量均匀性检测方法。

背景技术:

LDI(laser direct imaging,激光直接成像技术)曝光机主要用于PCB(Printed Circuit Board,印制电路板)生产中的曝光工序,其是通过激光扫描的方法直接将图像在PCB上成像,图像更精细。然而,目前的LDI曝光头及曝光头连接处均存在能量差异,若差异过大,则曝光形成的线路大小差异较大,将影响线路的精密性,从而无法通过蚀刻得到精密线路。传统的曝光能量检测方法主要是通过曝光尺来监测曝光能量均匀性,这种监控方法的测量误差较大,不能用于监控制作精细线路的LDI曝光机。

技术实现要素:

基于此,本发明在于克服现有技术的缺陷,提供一种LDI曝光机能量均匀性检测方法,其操作简便,检测精度高。

其技术方案如下:

一种LDI曝光机能量均匀性检测方法,包括以下步骤:

准备测试板和干膜,并在所述测试板上设置定位孔;

制作曝光图形文件,所述曝光图形文件内设定有与曝光机内所需检测的能量区一一对应的图形区,每个所述图形区均设定有宽度信息值;

将所述干膜贴设于所述测试板上;

将贴设干膜的所述测试板材放入曝光机中,曝光机抓取定位孔,根据所述曝光图形文件对所述测试板进行曝光处理;

将经过曝光处理的测试板进行显影处理;

测定测试板上干膜各显影区宽度;

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