光刻曝光能量和功率

最新推荐文章于 2022-10-14 13:51:06 发布

欧菲博客

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分类专栏：光刻

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最近用NR9-3000PY和AZ703，看到了一个参数mJ/cm^2。
参考激光光源，基本上都是毫瓦级别，假设1mW均匀照射到一个1cm^2的区域上，那么光强就是1mW/cm^2。如果要达到100mJ/cm^2，需要100s。
那么问题来了，我们的光刻机的汞灯是多少纳米的光呢？光强又是多少呢？

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