衍射光学元件（DOE）在光学成像和微光机电系统中有着广泛应用，包括光束整形、光束分裂和光束聚焦。DOE具有高衍射效率和特殊光学性能，例如二元光学元件，能够实现平像场性质、特殊色散和温度稳定性。光束整形方面，DOE可用于生成平顶光束、光束扩散、M型光束、衍射多圈和衍射轴锥镜等。此外，光束分裂功能包括光束分束器、光束采样器和结构光DOE。在光束聚焦领域，多焦点DOE、长焦深DOE、双波长和三波长聚焦镜等元件解决了不同激光加工需求。
近年来衍射光栅技术、全息术、傅里叶光学和计算全息等技术推动了衍射光学理论的发展，特别是在衍射光学元件方面的研究已经达到了实用化的水平。
衍射光学元件(diffractiveoptical element，DOE)具有高衍射效率、独特的色散性能、更多的设计自由度、宽广的材料可选性，并具有特殊的光学性能，在光学成像技术、微光机电系统等领域中有重要的应用前景。
菲涅尔波带片是早期利用衍射原理的光学元件。
相息图元件利用连续的浮雕结构，可以控制能量到某一衍射级次。
二元(衍射)光学元件是多阶相位结构。对理想的连续相位轮廓以2为量化倍数，做成台阶状近似，故称为二元(衍射)光学元件。二元(衍射)光学元件具有体积小、重量轻、易于阵列集成和大量复制的特点。
下图所示为一个折射透镜演变成为2π模的连续浮雕及多阶浮雕结构表面的二元光学的过程。
二元成像光学元件具备任意相位分布，提供了更多的自由度来校正系统的像差，其主要特点有：
特殊色散性质，二元光学元件光焦度与光波长成正比，可见光波段的等效阿贝数约为-3.452，而光学玻璃的阿贝数在20以上，故其与凸透镜组合可以消色差；
平像场性质，二元光学元件的场曲为零，单个二元光学元件不需要考虑校正场曲；
温度稳定，与普通透镜焦距组合有助于折/衍混合系统的温度稳定作用。
还具有薄型元件的性质。
衍射光学元件的主要应用：
1.光束整形
(1)平顶光束整形
“ Top-Hat ”或“ Flat-Top ”光束整形是衍射光学元件(DOE)，用于将近高斯入射激光束转换为圆形，矩形，正方形，线形或均匀强度(平坦)点或在特定工作平面中具有锋利边缘的其他形状。
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