C#_半导体行业-SECS/GEM协议

一、概念

  SECS/GEMI 标准（制造设备通信和控制的通用模型）指的是一组用于半导体行业“设备与设备”之间或“设备与工厂主机系统”之间通信的国际标准协议，由国际半导体协议SEMI发起并维护。SECS基于其他较低级别的协议，如下：

1、SECS-II与SECS-I、HSMS的关系：

协议名称	用途
SECS-I	定义 RS-232 通信的标准（报文）
HSMS	定义 TCP/IP 通讯的标准（报文）
SECS-II	定义交换消息的标准

2、SECS/GEMHSMS协议报文分析

  注：req：请求；rsp：回应。

  报文详细解析见：;以下是博文备份。

（1）数据长度

  占4个字节，每个字节都是存储的16进制的数据。

（2）报文头信息

（3）数据信息

3、SECS指令（S：Stream编号，F：功能编号）

  SECS/GEM协议协议使用“SECS指令”进行通讯；发送者发送奇数，响应者响应偶数，如：“发送者发送S1F1，响应者响应S1F2”。

（1）Stream编号含义

Stream编号	代表的含义	Stream编号	代表的含义
1	设备状态	2	设备控制与诊断I
3	原料状态	4	原料控制
5	意外处理	6	数据采集
7	加工程序控制	8	控制程序传输
9	系统错误	10	终端服务
11	主机文件服务	12	晶元定位
13	数据集传输	14	对象服务
15	配方管理	16	加工管理
17	设备控制与诊断II	18	子系统控制与数据

（2）常用指令

① 原文

② 中文翻译（

  注：① send翻译的不好，有些感觉是“切换控制命令的意思”，有些是“请求的意思”，等我确认后再更新翻译；

    ② 该文档不是最新的文档，最新文档内容还多；我会把手里新版指令截图放在文章末尾。

发送者发送的指令	代表的含义	发送者发送的指令	代表的含义
S1F1	询问是否可连接（使用S1F2应答是否可连接）	S7F1	进程程序加载 查询
S1F3	请求设备状态	S7F3	发送 加工程序
S1F5	请求Formatted(格式化)状态	S7F5	请求 加工程序
S1F7	请求Fixed()状态	S7F7	请求 加工程序ID
S1F9	请求 原料传输状态	S7F9	请求 原料或工艺路线
S1F11	请求 变量名称列表	S7F11	发送 原料或工艺路线
S1F13	请求建立通信	S7F13	发送 原料或工艺路线入口
S1F15	请求离线	S7F15	发送 工艺路线Mode
S1F17	请求在线	S7F17	删除 加工程序
S1F19	获取属性	S7F19	请求 当前设备的加工程序的资料
S1F23	查询 可用事件列表(新版本内容)
S2F1	查询 Service程序负载	S7F21	获取 设备加工程序能力
S2F3	请求 发送Service程序	S7F23	发送 格式化加工程序的命令
S2F5	请求 Service程序加载	S7F25	请求 格式化加工程序
S2F7	请求 Service程序运行	S7F27	发送 加工程序验证
S2F9	请求 Service程序运行结果	S7F29	查询 加工程序验证结果
S2F11	获取 Service程序的资料	S7F31	发送 加工程序验证请求
S2F13	请求设备常量Constant	S7F33	请求 可用的加工程序
S2F15	发送新设备常量Constant	S7F35	请求 Mid$的加工程序
S2F17	请求 数据和时间	S8F1	请求 启动程序
S2F19	请求 重置或初始化	S8F3	请求 执行程序
S2F21	请求 远程控制	S9F1	无法识别的设备Id
S2F23	请求 初始化Trace(跟踪)	S9F3	无法识别的Stream类型
S2F25	请求 回路诊断	S9F5	无法识别的Function类型
S2F27	启动处理请求	S9F7	非法数据
S2F29	请求 设备常量名称列表	S9F9	事务计时器超时
S2F31	请求 日期和时间设置	S9F11	数据太长
S2F33	定义报告	S9F13	对话超时
S2F35	给 事件设定 事件组	S10F1	请求 终端
S2F37	订阅/退订事件	S10F3	终端单个显示
S2F39	多块(Multi-block)查询	S10F5	终端Multi-block(多个)显示
S2F41	发送 Host主机命令	S10F7	不允许Multi-block(多块)
S2F43	重置后台Streams和Functions	S10F9	广播 Map设置的数据
S2F45	定义 可变的限制属性	S12F1	发送 Map设置的数据
S2F47	请求 可变的限制属性	S12F3	请求 Map设置的数据
S2F49	请求 创建数据报告	S12F5	查询 Map传输
S2F51	请求 删除数据报告	S12F7	Map数据发送类型1
S2F53	请求 创建Trace(跟踪)	S12F9	Map数据发送类型2
S2F55	请求 删除Trace(跟踪)	S12F11	Map数据发送类型3
S2F57	请求 收集 Link (连接)事件	S12F13	Map数据请求类型1
S2F59	请求 收集 UnLink (断开连接)事件	S12F15	Map数据请求类型2
S2F61	请求 重置 Trace(跟踪)	S12F17	Map数据请求类型3
S2F63	请求 强制远程控制	S12F19	Map错误报告
S3F1	请求 原料状态	S13F1	发送 数据集发送
S3F3	请求 完成时间	S13F3	请求 打开数据集
S3F5	发现原料 通知	S13F5	请求 读取数据集
S3F7	原料丢失 通知	S13F7	关闭 数据集发送
S3F9	原料ID EquateSend	S13F9	重置 数据集发送
S3F11	请求 原料ID	S13F11	查询 数据集多块
S3F13	发送 原料ID	S13F13	发送 表格数据
S4F1	准备发送原料	S13F15	请求 表格数据
S4F3	发送原料	S14F1	请求 获取Attr
S4F5	握手完成	S14F3	请求 设置Attr
S4F7	未准备好发送	S14F5	请求 获取类型(GetType)
S4F9	卡在发送端	S14F7	GetType 的数据
S4F11	卡在接收端	S14F9	请求 创建 Object
S4F13	发送超时	S14F11	请求 删除 Object
S4F15	接收到的原料	S14F13	请求 附加对象
S4F17	请求接收	S14F15	请求 附加的Object
S4F19	创建 Transfer Job（转移）	S14F17	请求 监督对象
S4F21	控制 Transfer Job（转移）	S15F1	查询 Multi-Block(多块)配方管理
S4F23	Transfer Job（转移）报警	S15F3	请求 操作 配方的命名空间
S4F25	多块(Multi-block)查询	S15F5	请求 重命名 配方的命名空间
S4F27	切换(Handoff )就绪	S15F7	请求 配方空间(RecipeSpace)
S4F29	切换(Handoff )命令	S15F9	请求 配方状态
S4F31	切换(Handoff )命令完成	S15F11	请求 重命名 配方的命名空间
S4F33	切换(Handoff )已验证	S15F13	请求 创建配方
S4F35	切换(Handoff )取消就绪	S15F15	请求 存储配方
S4F37	切换(Handoff )取消就绪确认	S15F17	请求 检索配方
S4F39	切换(Handoff )停止	S15F19	请求 重命名配方
S4F41	切换(Handoff )停止确认	S15F21	请求 操作配方
S5F1	发送 报警报告	S15F23	请求 配方描述符
S5F3	启用或禁用 报警	S15F25	更新 配方参数范围
S5F5	请求 报警列表	S15F27	请求 下载配方
S5F7	请求 已启用的报警列表	S15F29	请求 验证配方
S5F9	发送 异常报警	S15F31	请求 卸载配方
S5F11	清除 异常报警	S15F33	请求 选择配方
S5F13	请求 异常恢复	S15F35	请求 删除配方
S5F15	异常恢复 完成通知	S15F37	请求 批准 DRNS分割行为
S5F17	中止 异常恢复 请求	S15F39	请求 分割 DRNS记录器
S6F1	发送 Trace(跟踪)数据	S15F41	请求 修改 DRNS记录器
S6F3	发送 离散型变量数据	S15F43	请求 获取DRNS变更
S6F5	查询 “发送的多块(Multi-block)数据”	S15F45	请求 批准DRNS变更
S6F7	请求“数据传输”	S15F47	请求 重建DRNS管理器
S6F9	发送“Formatted(格式化)变量”	S16F1	查询 多块(Multi-block)加工程序数据
S6F11	发送 事件报告（设备上传数据）	S16F3	请求 创建加工程序
S6F13	发送 注释事件报告	S16F5	请求 控制加工程序
S6F15	请求 事件报告	S16F7	加工程序 警告通知
S6F17	请求 注释事件报告	S16F9	加工程序 事件通知
S6F19	请求 特定报告	S17F1	请求 创建数据报告
S6F21	请求 带注释的个人报告请求	S17F3	请求 删除数据报告
S6F23	请求 后台数据	S17F5	请求 创建Trace(跟踪)
S6F25	发送 通知报告	S17F7	请求 删除Trace(跟踪)
S6F27	发送 Trace(跟踪)报告	S17F9	请求 收集 Link(链接)事件
S6F29	请求 Trace(跟踪)报告	S17F11	请求 收集 UnLink(断开连接)事件

（3）TimeOut

	T1	T2	T3	T4	RTY
SEMI标准（秒）	0.5	10	45	45	3(次)
含义		握手超时	Primary信息发送后等待回复超时		超时后可以重试的次数
范围（秒）	0.1~10	0.2~25	1~120	1~120	0~31(次)

4、SECS/GEM协议调试软件

  ① 仿真软件1(本实例演示)：SEComSimulator（美国AIM Systems公司的基于C#开发的SECS标准协议模拟器；咸鱼搜索 执笔小白）

  ② 仿真软件2： SECS-Simulator(其他公司开的Java版；备份下载地址：PCtoLCD2002完美版.zip)

（1）软件中出现的关键字如下：

• Host/Local：主机模式与本地模式
• Remote：远程模式（RCMD）
• Passive/Active：服务器与客户端
• EQP：设备
• Device ID：设备标识
• VID：设备变量ID
• SVID：设备状态ID（key-value，如：1000代表‘一号轮子的转速’）

登录后复制

// 1 举例：如定义1000代表轮子1的转速；1001代表轮子2的转速；
// 1.1 主机请求写法(给我变量1000(轮子1的转速)和1001的值(轮子2的转速))：
S1F3 W
L<2,
   <U4,1 1000>
   <U4,1 1001>
 >.
// 1.2 设备回复写法（轮子1为800转速；轮子2为600转速）:
S1F4
L <2,
    <U4,1,800>
    <U4,1,600>
 >.

• 1.
• 2.
• 3.
• 4.
• 5.
• 6.
• 7.
• 8.
• 9.
• 10.
• 11.
• 12.
• 13.

• RPTID：报告编号
• CEID：事件编号（事件为 设备主动给主机推送数据；一个事件中可以包含多个报告）

登录后复制

// 1 举例：如有一个事件(ID为3000)需要通知主机，这个事件(ID3000)中有一个报告（ID2000），报告2000中有一个变量（1000）)
// 1.1 设备发送写法(解释如下)：
S6F11 W
<L,3  // 长度3
    <U4,1,0>    // 是当事件需要多次发送时，需要的唯一标识
    <U4,1,3000>  // 事件（CEID）
    <L,1         // 事件中的报告List（RPTID ）
        <L,2             // 报告List的长度
           <U4,1,2000>    // 报告ID
           <L,1            // 报告ID的长度
               <U4,1,120>  // 变量ID（SVID）的值
           >
        >
    >
 >.
// 1.2 主机回复写法（我收到了）
S6F12 
<B,1,0>

• 1.
• 2.
• 3.
• 4.
• 5.
• 6.
• 7.
• 8.
• 9.
• 10.
• 11.
• 12.
• 13.
• 14.
• 15.
• 16.
• 17.
• 18.

• ECID：设备常量
• PPID：配方编号（配方为一组变量，可以一次请求一组数据）
• DATAID：数据ID
• 设置或清除报警ALCD /报警编号ALID / 报警文本ALTX
• Send Primary Message：发送主要消息
• Send Reply Message：发送回复消息
• Send Control Message：发送控制消息
• MDLN：设备模型类型
• SOFTRE：软件修订版本
• 设备常数(EC)/状态变量(SV) /数据变量(DV)

（2）使用SEComSimulator作为服务器时的配置

（3）使用SEComSimulator作为客户端时的配置

（4）开始连接

（5）连接后的效果

二、C# 示例

1、界面样式

2、代码

  略

作者：꧁执笔小白꧂

原创作者: 2806933146zbxb 转载于: https://blog.51cto.com/2806933146zbxb/11629024