silvaco用户手册学习2——statement——DOPING

最新推荐文章于 2023-03-30 21:26:37 发布

桐桐花

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分类专栏： Silvaco TCAD仿真文章标签：仿真

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DOPING

DOPING语句的别名是PROFILE。

定义：

通过分析或从输入文件指定掺杂分布。

语法

DOPING  <prof>[<psp>][<bound>][<loc>][<sprea>>][OUTFILE=<fn>][<trps>]

description

DOPING语句用于定义器件结构中的掺杂分布。

通常，在其他器件结构上的每个结构上都给出一系列的掺杂声明。

Parameter

description

MODIFY

Type:logical

default：false

指定将修改先前定义的DOPING语句。先前DOPING语句中定义的掺杂值将被丢弃，并替换为指定值或C-解释器文件中的值。

OUTFILE

Type:Character

指定用于REGRID的输出文件的名称。

第一个DOPING语句应该使用这个参数来指定一个文件名。输入文件中第一个DOPING语句和所有后续DOPING语句的所有掺杂信息都保存到该文件中。

REGRID语句可以读取这个文件，并在新网格上插入掺杂。

note:

来自OUTFILE的文件不能在TonyPlot或MESH语句中使用。

保存文件以绘制掺杂分布图所需的所有掺杂命令后，应使用保存命令。

statement适用参数

Parameter	description
DEVICE Type:Character	指定该语句在MixedMode simulation中应用于哪个device。这个参数的同义词是STRUCTURE。
MATERIAL Type:Character	限制语句对指定材料region的适用性
NAME Type:Character	将语句的适用性限制为具有指定名称的region。
REGION Type:Integer default：all	将语句的适用性限制为具有指定区域号的region。
STRUCTURE Type:Character	DEVICE同义词

note:

如果没有指定DEVICE、MATERIAL、NAME和REGION参数，则 DOPING语句将适用于所有region

界面掺杂分布位置参数

您可以将这些参数与参数NAME、MATER和REGION一起使用，以描述要用analytic profile掺杂的区域之间的界面。

NAME、MATER和REGION参数用于描述接收掺杂的区域

INAME、IMATER和IREGION参数用于描述将放置掺杂的接收区域(即沿界面)上入射的区域。

这些interface profiles的位置也可能受到位置参数X.MAX、X.MIN、Y.MAX和Y.MIN的限制。

Parameter	description
IMATER Type:Character	指定放置interface profile的所有相邻区域的material。
INAME Type:Character	指定放置interface profile的邻近区域的名称。
IREGION Type:Character	指定放置 interface profile 的邻近区域的区域号。
OUTSIDE Type:logical default：false	指定 interface regions将放置在simulation domain之外的所有 interface 上。

Analytical Profile Types

这些参数指定Atlas将如何从analytical functions生成一个掺杂剖面。

Parameter	description
DOP.SIGMA	指定随机高斯掺杂分布的方差。
DOP.SEED	指定随机高斯掺杂分布的 seed value。
ERFC	指定使用ERFC分析函数来生成掺杂分布。如果指定了ERFC，还必须指定以下参数: 极性参数： N.TYPE或 P.TYPE profile specifications的下面group之一： Group 1:CONCENTRATION 和 JUNCTION Group 2:DOSE 和 CHARACTERISTIC Group 3:CONCENTRATION 和 CHARACTERISTIC
GAUSSIAN	指定使用高斯分析函数生成掺杂分布。如果指定了GAUSSIAN，还必须指定以下参数: 极性参数： N.TYPE或 P.TYPE profile specifications的下面group之一： Group 1:CONCENTRATION 和 JUNCTION Group 2:DOSE 和 CHARACTERISTIC Group 3:CONCENTRATION 和 CHARACTERISTIC
UNIFORM	指定使用uniform (constant) analytical functions来生成掺杂分布。如果指定UNIFORM，则必须指定N.TYPE、P.TYPE和CONCENTRATION参数。掺杂被引入一个由边界参数定义的框中。默认情况下，该框包含整个区域。
F.COMPOSIT	指定一个文件的名称，该文件包含一个C-Interpreter函数，该函数指定组成部分的空间分布。
F.DOPING	指定包含一个C-Interpreter函数的文件名，该函数指定掺杂剂的空间分布
F3.DOPING	指定一个文件的名称，该文件包含一个C-Interpreter函数，该函数指定3D设备掺杂剂的空间分布。

File Import Profile Types

这些参数指定Atlas如何从文件中生成doping profile。文件可以是用户定义的，也可以是来自流程模拟的。

Parameter	description
1D.PROC	TMA.SUPREM3同义词
2D. ASCII	指定一个2D doping profile,这个掺杂分布在矩形Cartessian grid上定义。由 INFILE. 2D指定的一个文件，该文件load 2D doping profile ASCII必须与N.TYPE、P.TYPE或NET参数一起指定。文件的第一列应该包含X坐标。第二列应该包含Y坐标。第三栏应包含掺杂数据。
ASCII	两个含义：（1）当它与其他格式参数组合时，它将文件类型指定为ASCII （2）当单独使用这个参数时，它指定了包含浓度与深度信息的ASCII数据文件。这个参数的别名是1D.PROC `ASCII INFILE=<filename> #filename是ASCII输入文件的名称。数据文件必须采用以下格式: # depth concentration # depth concentration # depth concentration # ... #depth单位um为单位指定， #concentration单位cm^(-3)。 #必须指定输入文件名、掺杂剂类型和边界参数。 #除非使用N.TYPE或P.TYPE参数，否则假设正浓度为n型，负浓度为p型`
ATHENA.1D	指定掺杂件为Athena 1D导出文件。该参数的作用方式与SSuprem3参数类似。
ATHENA	Athena standard structure file （SSF）或PISCES-II格式文件读取2D掺杂信息。双鱼座II格式是一种过时的文件格式。从该文件获得的掺杂信息将添加到当前Atlas网格的每个点。如果Atlas网格中的点与Athena网格中的点不一致，则Atlas网格点的掺杂将根据Athena掺杂信息进行插值。如果使用此纵断面类型，还必须指定内嵌参数。