Silvaco TCAD仿真10——MOSFET结构仿真

代码

MOS器件结构 

go atlas

#定义网格
#二维非均匀网格
mesh
x.m l=0.0   spacing=0.3
x.m l=0.5   spacing=0.018
x.m l=2.5   spacing=0.018
x.m l=3     spacing=0.3
y.m l=-0.02 spacing=0.01
y.m l=0.0   spacing=0.01
y.m l=0.3   spacing=0.06
y.m l=1.0   spacing=0.2

#定义材料
region num=1 y.min=0   silicon
region num=2 y.max=0.0 oxide

#定义电极
elect num=1 name=gate   x.min=0.5 length=2   y.min=-0.02 y.max=-0.02
elect num=2 name=source left      length=0.5 y.min=0.0   y.max=0.0
elect num=3 name=drain  right     length=0.5 y.min=0.0   y.max=0.0
elect num=4 name=substrate substrate

#定义掺杂
doping uniform p.type conc=2.e16
doping uniform n.type conc=1.e20 x.max=0.5 y.max=0.2
doping uniform n.type conc=1.e20 x.min=2.5 y.max=0.2

 不同沟道状态

#模型定义
#迁移率模型( cvt)、复合模型
models cvt srh print

#电极接触类型
#多晶硅栅(自对准效应)
contact name=gate n.poly

#界面电荷
#SiO2和Si的接触是不理想的,存在界面态,固定的界面电荷
interface qf=3e10
method newton

#求解初始状态
solve init
#求解漏电压=10V的情况
solve vdrain=10
#存储结果
log outf=nmos1_1.log

solve vgate=0 vstep=0.25 vfinal=5.0 name=gate
save outf=nmos1_1.str

quit

 仿真

对于硅基器件,

Vd=10V,Vg=5V,绝大部分器件,处于反型。

夹断,处于饱和状态。

器件结构

 分布情况

查看其他分布情况 

右键->display 

电场分布情况 

 载流子分布情况

 电流

 cutline做切线看物理量分布

 tools->cutline

选择人为设置坐标 ,create

 

可以看到沟道及其附近电子浓度

 看到沟道夹断的情况

 参考:

最简单的MOSFET仿真

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最全的模电数电multisim仿真电路实例,只要1积分,包含 1-5-1a二极管仿真电路.ms9 1-5-2稳压管仿真电路.ms9 1-5-3BJT仿真电路.ms9 1-5-4aMOSFET仿真电路.ms9 10-10-1a单相桥式整流电路.ms7 10-10-2a桥式整流电容滤波电路.ms7 10-10-3硅稳压管稳压电路.ms7 10-10-4串联型直流稳压电路.ms7 10-10-5a三端集成稳压器-a.ms7 10-10-5b三端集成稳压器-b.ms7 10_循环计数器.ms9 2-9-1a单管共射放大电路.ms9 2-9-1b单管共射放大电路直流通路.ms9 2-9-2工作点稳定电路.ms9 2-9-3a共集电极放大电路.ms9 2-9-4a共基极放大电路.ms9 2-9-5a共源极放大电路.ms9 3-5-1aRC高通电路.ms9 3-5-2aRC耦合单管共射放大电路.ms9 3D运算放大器应用.ms9 3D运算放大器应用.ms9 (Security copy) 4-5-1aOTL乙类互补对称电路.ms9 4-5-2aOTL甲乙类互补对称电路.ms9 4-5-3a复合管OCL甲乙类互补对称电路.ms9 4.ms9 (Security copy) 5-7-1长尾式差分放大电路.ms7 5-7-2恒流源式差分放大电路.ms7 5.ms9 555Astable.ms9 555Astable.ms9 (Security copy) 555单稳触发器.ms9 555单稳触发器.ms9 (Security copy) 555振荡器(占空比可调).ms9 555振荡器(占空比可调).ms9 (Security copy) 6-6-1电流串联负反馈电路.ms7 6-6-2电压并联负反馈电路.ms7 6-6-3电压串联负反馈电路.ms7 6.ms9 7-7-1a反相比例电路.ms7 7-7-1b同相比例电路.ms7 7-7-1c差分比例电路.ms7 7-7-2三运放数据放大器.ms7 7-7-3求和电路.ms7 7-7-4a积分电路.ms7 74LS194移位寄存器.ms9 74LS194移位寄存器.ms9 (Security copy) 74LS47译码器.ms9 74LS47译码器.ms9 (Security copy) 74LS90七进制计数电路.ms9 74LS90六十进制计数器.ms9 74LS90六十进制计数器.ms9 (Security copy) 74LS90六进制计数电路.ms9 74LS90十进制电路.ms9 74LS90测试电路.ms9 8-3-1a二阶低通滤波器.ms7 8-3-2a带通滤波器.ms7 8-3-3a单限比较器.ms7 8-3-4a滞回比较器.ms7 8-3-5a双限比较器.ms7 8-3-6a集成单限比较器.ms7 9-6-1aRC串并联网络振荡电路.ms7 9-6-2a矩形波发生电路.ms7 9-6-3三角波发生电路.ms7 A-5-13aIV分析仪测二极管.ms7 A-5-14aIV分析仪测BJT.ms7 A-5-15aIV分析仪测FET.ms7 A-5-7阻容耦合单管共射放大电路.ms7 AC-DC变换器.ms9 ADC实例.ms9 ADC实例.ms9 (Security copy) BTL功放.ms9 BTL功放.ms9 (Security copy) D触发器的研究.ms9 IDAC测试电路.ms9 J-K触发器的研究.ms9 LIST.TXT OCL功放.ms9 OCL功放.ms9 (Security copy) OC门应用实验.ms9 OC门应用实验.ms9 (Security copy) OC门测试(74LS22).ms9 R-S触发器的研究.ms9 RC一阶电路.ms10 RF放大器(频谱分析仪).ms9 RF放大器(频谱分析仪).ms9 (Security copy) RF放大器.ms9 RF放大器.ms9 (Security copy) RF放大器(网络分析仪).ms9 RF放大器(网络分析仪).ms9 (Security copy) VCVS.ms9 VCVS.ms9 (Security copy) VDAC原理图.ms9 VDAC原理图.ms9 (Security copy) 三态R-S触发器(4043).ms9 三态缓冲器测试.ms9 三态缓冲器组合电路.ms9 三态门应用.ms9 三极管的开关特性研究(3D).ms9 三极管的高频特性分析.ms9 三端稳压源.ms9 三角波发生器.ms9 三角波发生器.ms9 (Security copy) 三通道总加器实验.ms9 三通道总加器实验.ms9 (Security copy) 与非门搭接的逻辑电路.ms9 与非门测试.ms9 与非门测试.ms9 (Security copy) 与非门逻辑功能测试.ms9 两级放大器1.ms9 两级放大器1.ms9 (Security copy) 两级阻容耦合放大电路.ms10 串联电路分析.ms9 串联电路应用.ms9 乘法器应用.ms9 乙类功放.ms9 二极管仿真.ms10 二极管振幅调制.ms9 二-五混合进制电路(74LS90).ms9 互补对称功放.ms9 互补对称功放.ms9 (Security copy) 交通灯.ms9 传输线应用.ms9 低通滤波器(有源).ms9 低通滤波器(有源).ms9 (Security copy) 倍频器.ms9 (Security copy) 傅里叶分析图例.ms9 光柱应用.ms9 光柱应用.ms9 (Security copy) 克拉泼振荡器.ms9 克拉泼振荡器.ms9 (Security copy) 八位串行-并行转换电路.ms9 八位移位寄存器.ms9 功率放大器(原理图).ms9 单个放大器.ms9 (Security copy) 单管放大器(实验).ms9 单管放大器.ms9 (Security copy) 单管放大器1.ms9 单管放大器1.ms9 (Security copy) 单管放大器2.ms9 单管放大器2.ms9 (Security copy) 单管放大器原理图.ms9 单管放大器(1).ms9 (Security copy) 单管放大器(定).ms9 单管放大器(定).ms9 (Security copy) 单级放大电路.ms10 压控振荡器.ms9 压控振荡器.ms9 (Security copy) 参数扫描分析.ms9 参数扫描分析.ms9 (Security copy) 双向开关4066.ms9 (Security copy) 双向开关应用4066.ms9 双向开关测试4066.ms9 双向数据总线驱动器74LS373.ms9 双向求和放大器.ms9 双向限幅电路.ms10 反向比例放大器.ms9 (Security copy) 反向求和放大器.ms9 反向滞回比较器.ms9 反向滞回比较器.ms9 (Security copy) 反向迟滞比较器.ms9 (Security copy) 受控源仿真.ms10 叠加原理.ms9 叠加原理.ms9 (Security copy) 叠加定理仿真.ms10 噪声分析.ms7 噪声分析.ms9 图7-1-5 并联电路.ms9 均匀性研究.ms9 均匀性研究.ms9 (Security copy) 宽带RF放大器(网络分析仪).ms9 宽带RF放大器(网络分析仪).ms9 (Security copy) 射极跟随器.ms9 射极跟随器.ms9 (Security copy) 射集跟随器.ms10 差动放大器.ms9 差动放大器.ms9 (Security copy) 带通滤波器(无源).ms9 带通网络(有源).ms9 带阻滤波器(有源).ms9 异或门逻辑测试.ms9 异步二进制计数器.ms9 异步二-十进制计数器.ms9 异步二-十进制计数器.ms9 (Security copy) 微分积分电路.ms10 恒流源式差分放大电路.ms10 戴维南等效电路.ms9 批量复制文件名.bat 数据选择器74LS153.ms9 数据选择器74LS153.ms9 (Security copy) 文氏桥振荡器.ms9 文氏桥振荡器.ms9 (Security copy) 方波发生器(可调占空比).ms9 方波发生器(可调占空比).ms9 (Security copy) 方波发生器.ms9 方波发生器.ms9 (Security copy) 时基振荡发生器.ms10 晶体管伏安特性仿真.ms10 李萨如仿真.ms10 构图图例.ms9 桥式整流及滤波电路.ms10 比较器LM311应用.ms9 泰克示波器.ms9 环形振荡器.ms9 电压微分器应用.ms9 电压斜率模块实验.ms9 电压斜率模块实验.ms9 (Security copy) 电压跟随器.ms9 电压跟随器.ms9 (Security copy) 电压限幅器.ms9 电平指示器的应用.ms9 电平指示器的应用.ms9 (Security copy) 电阻的伏安特性仿真.ms10 继电器应用实例.ms9 网络互易性研究.ms9 考毕兹振荡器.ms9 虚拟仪器应用1.ms9 虚拟仪器应用1.ms9 (Security copy) 虚拟仪器应用2.ms9 虚拟开关测试电路.ms9 西勒振荡器.ms9 西勒振荡器.ms9 (Security copy) 计数、译码、显示.ms9 计数、译码、显示.ms9 (Security copy) 计数器(3D).ms9 计数器(3D).ms9 (Security copy) 译码器74LS138.ms9 译码器74LS139.ms9 译码器研究.ms9 负反馈放大器.ms9 (Security copy) 负反馈放大器2.ms9 负反馈放大器2.ms9 (Security copy) 负反馈放大器3.ms9 负反馈放大器3.ms9 (Security copy) 负反馈放大器(实验).ms9 负反馈放大器(实验).ms9 (Security copy) 趣味1.ms9 (Security copy) 趣味闪灯.ms9 转移函数分析.ms9 输出电压可调的稳压源.ms9 锁存器原理测试.ms9 锁存器应用.ms9 锯齿波发生器.ms9 锯齿波发生器.ms9 (Security copy) 长尾式差分放大.ms10 阻容耦合放大电路.ms10 除法器应用.ms9 除法器应用.ms9 (Security copy) 非线性相关源实验.ms9 频率分割器.ms9 频率分割器.ms9 (Security copy) 高通滤波器(有源).ms9 高频小信号调谐放大器.ms9 高频小信号调谐放大器.ms9 (Security copy)

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桐桐花

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