氧化掩蔽层与注入条件关系

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问题描述

怎么根据不同的注入条件设定氧化掩蔽层厚度？？ 有没有对应表格 求告知 !

解决方案

  如下是上述问题的解决方案，仅供参考：

氧化掩蔽层（Oxide Masking Layer）厚度与注入条件（如注入能量、注入离子种类等）密切相关。氧化掩蔽层的主要作用是