克努森数与连续介质

1 克努森数的概念

        克努森数(Knudsen number)定义为分子平均自由程和空间尺度的比例:

        克努森数的取值决定了物理问题的类型及其适用的方程。

Knudsen number regimes. | Download Scientific Diagram各方程对应的克努森数适用范围(图源:researchgate.net)

2 大克努森数的案例

        在大克努森数下(Kn>0.1时),需要使用DSMC(Direct Simulation Monte-Carlo)求解玻尔兹曼方程。此时,连续介质前提假设已经不满足,N-S 方程已失效,无法使用有限体积法、有限单元法等方法求解 N-S 方程的方法进行分析。

        在文献《Continuum and kinetic simulations of the neutral gas flow in an industrial physical vapor deposition reactor》(《Surface and Coatings Technology》期刊)中,作者对物理气相沉积(PVD)问题进行了不同解法的对比:

1 利用 ANSYS Fluent 通过有限体积法求解 N-S 方程

2 利用修改版 dsmcFOAM(OpenFOAM的模块)通过 DSMC 求解玻尔兹曼方程

        PVD 设备如图所示,其内部绝对压力约为 500 mPa,温度 300 K,气体介质氩气、氮气。

其中:

        A:入口

        B:阴极电极

        C:样品

        D:加热器

        E:出口

        将 dsmcFOAM 结果的分子能量分布做统计,其整体能量分布状况符合麦克斯韦-玻尔兹曼能量分布曲线。

        截面上克努森数分布如图所示(分子平均自由程取氩气500mPa时1.39cm),数值远超过无滑移边界条件 N-S 方程要求的 0.001 的上限。

        对比 dsmcFOAM 和 Fluent 结果,压力分布如图所示

        对比 dsmcFOAM 和 Fluent 结果,流线如图所示

        从对比结果看,两者的仿真结果差异较大,基于 N-S 方程的结果在大克努森数问题中已经难以满足准确性要求。 

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