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带你轻松了解半导体CIM系统之EAP (四)
一种新架构下的半导体EAP系统原创 2025-05-20 23:18:05 · 996 阅读 · 0 评论 -
带你轻松了解半导体CIM系统之APC (一)
半导体先进制程控制系统APC是什么?原创 2025-04-28 21:41:50 · 969 阅读 · 0 评论 -
带你轻松了解半导体CIM系统之EAP (三)
半导体SECS/GEM通讯协议介绍原创 2025-03-11 22:04:20 · 938 阅读 · 0 评论 -
带你轻松了解半导体CIM系统之EAP (二)
半导体EAP系统介绍的第二篇来了!!!原创 2025-01-26 23:57:55 · 1495 阅读 · 0 评论 -
带你轻松了解半导体CIM系统之MES (二)
半导体MES系统介绍的第二篇来了!原创 2025-01-09 23:11:50 · 1509 阅读 · 0 评论 -
带你轻松了解半导体CIM系统之EAP (一)
EAP(Equipment Automation Program),中文可称“设备自动化程序”,是芯片制造中用于实现设备自动化控制和数据采集的关键系统。如果说MES系统是芯片生产过程中的大脑,那么EAP系统则是连接MES系统与机台设备的桥梁和枢纽,除此之外,EAP系统还与RMS(配方管理系统)、APC(先进过程控制),MCS(物料传输控制系统)等其他重要CIM系统集成,从而提升生产效率、降低成本,并保证产品质量和一致性,在芯片制造中发挥举足轻重的作用。原创 2025-01-02 20:55:14 · 1996 阅读 · 0 评论 -
带你轻松了解半导体CIM系统之MES (一)
MES就是晶圆厂的大脑,旨在监控、控制和优化芯片制造过程。原创 2024-12-18 20:03:15 · 2279 阅读 · 0 评论 -
A Functional Approach to Designing Architectures for CIM
A Functional Approach to DesigningArchitectures for CIM原创 2023-03-01 16:20:25 · 150 阅读 · 0 评论