带你轻松了解半导体CIM系统之EAP (一)

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带你轻松了解什么是半导体CIM系统

带你轻松了解半导体CIM系统之MES (一)

半导体CIM系统是芯片制造的基石，是FAB生产线必不可少的重要工业软件。而EAP系统也是半导体CIM系统的重要组成部分，本文是EAP系列的开篇之作，带您初步了解EAP系统~

01 什么是EAP系统

EAP（Equipment Automation Program），中文可称“设备自动化程序”，是芯片制造中用于实现设备自动化控制和数据采集的关键系统。如果说MES系统是芯片生产过程中的大脑，那么EAP系统则是连接MES系统与机台设备的桥梁和枢纽，除此之外，EAP系统还与RMS（配方管理系统）、APC（先进过程控制），MCS（物料传输控制系统）等其他重要CIM系统集成， 从而提升生产效率、降低成本，并保证产品质量和一致性，在芯片制造中发挥举足轻重的作用。

EAP是连接MES与机台的桥梁

泰治科技CIM技术架构

02 EAP系统的发展历史

EAP系统可以简单理解为帮助芯片自动化生产的系统，实际上它也正是因为要解决减少人为操作而设计的系统。 早期在没有EAP系统之前，FAB（晶圆厂）产线都是人工手动做账和人工收集机台数据的，不仅工作量大，而且容易出错。随着半导体制造技术的快速发展，生产线的自动化需求日益增加。EAP系统作为实现生产线自动化的关键组成部分，开始在半导体制造中得到应用。它通过实时监控和控制生产设备，提高了生产效率和产品质量。

在20世纪90年代， 随着CIM系统的发展，EAP系统开始与MES等系统集成，实现了生产数据的共享和协同，进一步提升了生产管理的智能化水平。

21世纪初至今， 随着物联网（IoT）和大数据技术的发展，EAP系统不断演进，实现了更高级别的自动化和智能化。现代EAP系统不仅能够实时监控和控制设备，还能够通过数据分析优化生产流程，提高生产效率和产品质量。尤其是现在主流的12寸晶圆厂都是全自动生产的，对良率以及生产效率都有极高的要求，在这无人车间里面EAP系统更是必不可少。

格创东智CIM技术架构

03 EAP系统的功能介绍

如果说早期缺少信息技术支撑的半导体制造是“石器时代”，那么EAP等信息系统的加入则可以称为半导体制造的“蒸汽时代”，EAP系统在芯片制造中起到革命的作用，发挥十分重要的作用，其主要功能包括：

• 实时监控： EAP系统可以持续监测生产设备的工作状态，确保所有设备都在正常范围内运行。
• 数据收集： 通过半导体SEMI协议，传感器和其他数据采集工具，EAP系统能够收集大量关于设备性的的数据。
• 自动化控制： EAP系统和APC系统结合，可以自动调整设备参数，优化生产过程，提高效率和产品质量。
• 故障预警： 通过对收集到的数据进行分析，EAP系统可以提前发现潜在问题，并发出警报，减少停机时间。

除此之外，设备自动化还可以带来其他方面的优势：

• 提高生产效率： 通过自动化控制系统，可以减少人为干预，提高生产速度和产量。
• 减少错误率： 自动化程序可以确保每个步骤都按照设定的标准执行，降低人为错误的可能性。
• 节省成本： 长期来看，设备自动化可以降低人工成本和材料浪费，从而节省整体运营成本。
• 改善工作环境： 自动化设备减少了工人接触危险机械的机会，提高了工作安全性。

04 行业现状与未来发展方向

EAP系统相对于MES系统没有那么复杂，被巨头卡脖子的风险基本没有，而且各家厂商的EAP系统各有特色，本文主要讲述的是半导体制造行业的EAP系统，实际上EAP系统可以被广泛应用于面板，光伏，电池等行业中，一个好的EAP系统必须是深入理解所在行业业务和持续创新的。

泰治科技EAP架构

上扬软件EAP架构

现在市场上不仅有应用材料和IBM这些巨头，得益于国内互联网技术迅猛的发展，资本对半导体CIM系统的青睐以及国产化进程的推进，在EAP系统这个之前缺少关注的赛道除了有在江湖坚持多年，被大基金投资的上扬软件，还涌现出了格创东智，赛美特，泰治科技，哥瑞利，喆塔科技，芯享科技等潜力新星。

上扬软件发展史，也称得上国产CIM系统发展史了

EAP系统的未来可以融合先进的互联网与人工智能技术，聚焦于提升自动化水平、增强系统集成性、优化数据处理能力、融合先进技术以及加强安全性与灵活性，具体包括：

1. 高度集成与标准化：随着半导体制造技术的不断进步，EAP系统将更加注重与MES、APC等系统的深度集成，通过标准化协议如SECS/GEM，实现更高效的数据交换和流程控制。标准化将促进不同设备和系统间的兼容性，简化系统部署和维护。
2. 智能化与自适应控制：利用人工智能和机器学习技术，EAP系统将能够自我学习，根据生产数据和历史经验自动调整设备参数，优化生产流程，实现更高级别的自适应控制，提高生产效率和产品质量。
3. 大数据分析与预测维护：EAP系统将加强对生产数据的分析能力，通过大数据分析预测设备性能和故障，实现预防性维护，减少停机时间，保障生产线的连续性和稳定性。
4. 云原生与边缘计算：随着云计算技术的发展，EAP系统可能会更多地采用云原生架构，同时利用边缘计算处理实时数据，以减少延迟，提高响应速度，确保生产过程的实时监控和控制。
5. 网络安全与数据保护：在高度自动化和数字化的背景下，EAP系统的安全性将成为重点。未来的发展将强化网络安全措施，确保生产数据的安全，防止工业间谍活动和网络攻击。

05 总结

工业软件不同于传统互联网软件，研发和回报周期长，行业人才也较少，很难在这热衷赚快钱的年代当上资本的宠儿，这也是我们国内工业软件相对落后的原因。然而工业软件对一个国家工业发展和综合实力提升是十分重要的，对半导体行业而言，EAP等CIM系统更是生产芯片的灵魂，这些工业软件企业的发展除了依靠自身，还需要得到政府，行业以及资本的支持，入局这些工业软件的企业都是有情怀，有抱负的，是国内工业软件发展史上一颗颗璀璨的明珠，他们值得我们尊敬和鼓掌。👏🏻