有感~半导体技术之晶圆尺寸,450mm是否会来到

在读《芯片制造:半导体工艺和设备》,得到下面“半导体产品制造技术约10年更新一代”一图,对晶圆直径的理解趋势,更认可佐藤淳一《图解入门 半导体制造工艺基础精讲》第4版中的描述,因此特地对晶面面积的学习进行笔记记录。

半导体产品制造技术约10年更新一代

晶圆大小(网图)

 目前主流晶圆尺寸是8英寸(200mm)和12英寸(300mm),未来认为是450mm时代。佐藤淳一书中描述,虽然随着技术的需求,晶圆需要直径越来越大,但是从成本、生产商、整条产业链适应大尺寸晶圆的调整等角度,从300mm到450mm,有很多限制条件,因此未来450mm时代不会很快到来。我认为这样的说法挺对的,或许晶圆方面会从其他方面进行技术变革。

以下是书中限制条件,由于我是笔记记录,内容可能过于精简:

①PC主流需要大尺寸芯片

②晶圆面积变大,重量大,对基础设施建设需要提升(比如晶圆抓取传输...)

③厚度增大,处理过程中也产生翘曲度增大(良率不可控)

④需要研发EUV新技术

⑤可实现的制造商目前仅几家

⑥因更新换代大致需要10年,需考虑投资回报

在产能紧张的时期,我们看到8英寸和12英寸的需求很吃紧,其中8英寸也扮演着特别的角色:因为6英寸厂的淘汰关闭,分立器件、功率器件等需求转到8英寸;8英寸的工艺成熟且对比12英寸有成本优势。因此未来450mm时代的出现,并不意味着行业对450mm的必然推崇。
书中也讲到,在技术淘汰过程中,小尺寸晶圆未来的方向,是可以转其他产品,如太阳能电池、MEMS、功率半导体、生物芯片等等。

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