1、系统需求-》设计-》光罩-》芯片制造-》检测-》封装-》测试。 光罩-》光阻涂布-》曝光-》显影和烘烤-》刻蚀-》等离子体去胶-》湿法刻蚀 化学机械研磨-》薄膜沉积-》制作金属薄膜-》化学气相沉积-》离子注入