特点/应用
◆ 2至6英寸样品台
◆ 高真空腔体
◆ 防辐射屏设计,样品温度均匀性更好
◆ 77K-675K高低温环境
◆ 兼容IV/CV/RF测试
◆ 外置多探针臂,移动行程大
◆ 经济实用,可无缝升级
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试:
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
◆ 腔体规格:
型号 CGO-2/CGO-4/CGO-6
样品台尺寸 2英寸/4英寸/6英寸
样品固定 弹簧压片
观察窗口 2英寸/4英寸/6英寸
真空度 10-6torr
探针臂接口 4~6个探针臂接口
其他接口 电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口
制冷方式 液氮/液氦/制冷机
温度范围 77K到573K/4.5K