干法制程会通入反应气体,并被施加一定的高频电压。当施加在低压气体上的电压超过其击穿电压时,气体中的原子或分子将被电离,形成正离子和电子。电子在电场的作用下加速,并与其他气体分子碰撞,产生更多的离子和电子,就会形成辉光放电等离子体。浸没在辉光放电等离子体中的晶圆受到电子和离子的轰击,导致表面原子的重新排列和溅射。
启辉的颜色? 启辉放电产生的光谱和颜色主要取决于放电气体的种类和压力,以及放电的电压。每种元素和分子都有其特定的能级,当电子从高能级跃至低能级时,会发出特定波长的光。这就是为什么不同的气体会产生不同颜色的辉光。例如,氩气则通常会发出淡紫色的光,氮气放电会形成粉紫色光。