蒸镀的氧化硅薄膜为什么有时候是绿色有时候是棕色的？

知识星球（星球名：芯片制造与封测社区，星球号：63559049）里的学员问：我们用热阻式蒸镀设备镀氧化硅薄膜，出来的颜色有时候会发生变化是什么原因呀？有时候薄膜是绿色有时候是棕色。

氧化硅的颜色与厚度的关系？

氧化硅（SiO2）薄膜的厚度与其表面颜色之间存在着直接的关系，这是由于薄膜干涉效应引起的。当光线照射到氧化硅层表面时，部分光线会在氧化硅的表面反射，另一部分则会穿透氧化硅层并在底部反射回来。这两部分光波在空气和氧化硅层界面处再次相遇时，会发生干涉，导致增强或相消，从而产生不同的颜色。随着氧化硅层厚度的增加，观察到的颜色会从一种颜色转变到另一种颜色，循环往复。

如何干涉？

当反射的光波相遇时，如果它们的相位差是2π的整数倍，是相长干涉，则颜色会看起来更明亮。如果它们相位差为(2n+1)π，是相消干涉，则某些颜色会减弱。 厚度与颜色的一一对应表?

颜色氧化层厚度(A)~灰100



~黄褐300



~蓝800



紫10002750465065008500深蓝14003000490068008800绿18503300520072009300黄20003700560075009600橙22504000600079009900红250043506250820010200

欢迎加入我的半导体制造知识社区，答疑解惑，上千个半导体行业资料共享，内容比文章丰富很多很多，适合快速提升个人能力，介绍如下：》