等离子体技术【十六】--EUV激光器

以下摘自《CO2激光驱动锡靶产生极紫外光源的实验研究》

一、EUV简介

　　在下一代光刻机光源的候选名单中，最受大家关注的是，离子体辐射极紫外光(EUV: extreme ultraviolet)，极紫外光刻技术能够使特征尺寸小到50nm以内。
　　某些靶材的等离子体辐射出EUV光，在某个波段会出现峰值，比如氙靶辐射的峰值在11.5nm，而锡靶辐射的峰值在13.5nm。
　　光刻机光源波长选择为13.5nm，主更是因为镀有多层钼硅介质膜(Mo/Si)的反射镜在13.5nm处，2%的带宽有很高的反射率，约70%11。

 二、EUV的产生

　　产生EUV光主要有三种方式：同步辐射、电子放电产生等离子体、激光驱动产生等离子体。

　　（1）同步辐射指的是高速电子在磁场中运动，当电子运动方向变化时，在运动的轨迹切线方向上产生EUV光辐射。

　　　　以同步辐射方式产生的EUV光源，对光学元件没有碎屑污染，因而使用寿命很长，但是整套设备复杂、灵活度很低，价格昂贵、性价比低。

 

　　（2）电子放电产生EUV光直接将电能转化为EUV辐射能，电极寿命短，输出功率受到限制。

　　　　在气体放电过程中，除了13.5nm处的辐射外，绝大部分能量转化为其它波段的辐射，这些能量必须通过对放电电极的冷却来及时导出，否则将会对电极产生严重的侵蚀作用，从而影响电极寿命，
　　　　加上所有的一切都要在真空室内进行，这对冷却的要求来说就更为困难了。因此，可以说放电等离子体中热负载的处理效率极大地限制了它可以得到的最大极紫外辐射功率。除了余热移除能力对放电

　　　　等离子体的限制以外，它还有一个致命弱点就是放电区域较大，这首先会导致光源可收集立体角范围比较小，也就是说等离子体发出的EUV辐射不能得到有效收集。

 

　　（3）激光等离子体光源有以下主要优点:

　　　　1)等离子体可以远离象电子放电电极那样的机械边界，这样就可以降低冷却的要求和材料的腐蚀；

　　　　2)由于激光聚焦的光斑尺寸要小很多，激光等离子体产生的EUV光源发散角小于光刻系统的可接受集光角，所以原理上辐射的EUV光都是有用的；

　　　　3)激光等离子体光源没有电子放电那样受热负荷的限制，它能够通过增大相应的激光功率来实现更高功率的EUV光输出，这对将来实际量产有十分重要的意义；

　　　　4)激光等离子体中可以使用大尺寸的接收镜，也就意味着更多的EUV光子可以被收集利用。

 

三、驱动电源

　　在选择驱动光源时，人们也做了一些尝试，用的最多的是Nd:YAG固体激光器与co2气体激光器。

            CO2激光器转换效率＞Nd:YAG激光器

 光速质量：CO2激光器好于Nd:YAG(更集中在13.5nm附近)

 

四、碎屑问题

　　激光轰击固体锡靶时产生碎屑，沉积在Mo/si反射镜的表面，降低它对EUV光的反射效率，最终影响到的EUV光输出功率，减少光刻机的使用寿命。

　　大规模工业生产要求光刻机光源的寿命大于30000小时，因此减少碎屑是光刻机光源研究中不可缺少的一部分。

　　研究者想了很多方法来减少碎屑，使EUV光源成为清洁光源。

　　常见的做法就是加磁场，减小离子的动能，让离子没有足够的动能达到收集镜，这只对带电离子有效；

　　也有充入缓冲气体的，增加原子、离子的阻力。这些方法都能在一定程度上改善。

　　也有研究者模拟碎屑的动力学过程，从理论上分析哪些离子态是主要的污染源。

　　由前面论述，同样靶材的情况下, CO2激光器驱动产生的碎屑要少；液体靶产生的碎屑比固体靶少；所以用CO2激光轰击液体靶，产生的碎屑更加少了，能大大提高光刻机光源的使用寿命。

 

碎屑问题：CO2激光器产生的碎屑＜Nd:YAG激光器产生的碎屑

五、光放大

　　激光器实现光放大的一个必要条件就是粒子数反转，CO2激光器也不例外。

　　粒子数实现反转主要有以下几个过程:

　　(1)电子碰撞激发N2的振动能级。N2是同核分子,在发射光子时不会损失这部分碰撞能量。N2振动能级的激发态是亚稳态,电子寿命相对比较长,约0.4毫秒,可积累较多的N2分子。

　　(2) N2与CO2分子相互碰撞引起CO2的振动能级的跃迁,且有足够的粒子数反转满足激光出光的条件。

　　(3) N2分子处于较低的激发态。N2分子与低温He原子碰撞,跃迁到基态。

　　高温He原子必须冷却,才来维持CO2分子的粒子数反转。在密闭的激光腔中, He原子与容器壁碰撞的方式来降温。在纵向流动激光中, Co2与N2的混合气流被等离子体放电所激发,谐振腔内的高温混合气体被气泵抽出。

六、整体结构示意

       （1）激光正入射，经透镜聚焦后打在锡靶材上；

　　（2）透镜焦距为100mm，靶材平面与平场光栅光谱仪成450夹角；

　　（3）激光轰击靶材产生等离子体，等离子体辐射出EUV光；

　　（4） EUV光经Zr膜过滤后，进入平场光栅光谱仪，光栅衍射，在CCD上成像，数据处理后在电脑上显示出来；

　　（5）靶室与诊断室之间用KF50的波纹管连接，诊断室后板上有空，接有波纹管及CCD支架，CCD直接安装在支架上。