亚波长光栅超材料：开启硅光子技术的新篇章

在光子学领域，硅光子技术正迅速崛起，成为高速光通信、神经网络、超级计算、量子光子学和传感等领域的关键支撑技术。这些应用对光子器件的效率和紧凑性提出了极高的要求。幸运的是，通过在亚波长尺度上对硅波导进行结构化设计，我们可以合成具有独特光学性质的人工材料，从而显著扩展硅光子技术的设计空间。这些材料被称为亚波长光栅（Subwavelength Gratings, SWGs）超材料，其光学性质可以通过精心设计光栅几何形状来调控，从而在不牺牲制造便利性和高密度集成的前提下，提升纳米结构器件的性能。

一、亚波长光栅超材料的原理

亚波长光栅超材料的核心思想是通过周期性结构来合成具有可调控性质的集成光学材料。当周期（Λ）低于布里渊阈值（即 Λ < λ₀/(2n_eff)）时，周期波导在亚波长 regime 下有效表现为一个具有等效各向异性材料的实心芯波导。这种等效材料的介电张量可以通过同质化方法来建模，从而大大简化了对复杂周期结构的分析。

二、亚波长光栅超材料的应用

（一）超低损耗波导交叉和弯曲

在光子集成电路中，低损耗和低串扰的波导弯曲和交叉结构对于实现高密度集成至关重要。亚波长光栅超材料通过折射率工程补偿光程差，解决了传统波导弯曲中存在的模式失配和高模间串扰问题。

（二）宽带光束分束器和相移器

亚波长光栅超材料在光束分束器和相移器中的应用也非常广泛。通过设计具有特定各向异性特性的亚波长结构，可以实现宽带、低损耗的光束分束器和相移器。例

（三）片上光束整形

亚波长光栅超材料还可以用于实现高效的片上光束整形，例如在光栅耦合器和光学天线中。通过设计具有梯度折射率（GRIN）特性的亚波长结构，可以实现高效的光束聚焦和扩展。

（四）偏振管理器件

偏振管理在光子集成电路中同样重要。亚波长光栅超材料可以通过控制结构的各向异性来实现高效的偏振控制。

（五）窄带光谱滤波器件

亚波长光栅超材料还可以用于设计窄带光谱滤波器，例如布拉格光栅滤波器。通过精确控制光栅的周期和结构参数，可以实现具有极窄带宽和高反射率的光谱滤波器。

三、未来展望

亚波长光栅超材料在硅光子技术中的应用前景广阔。随着制造技术的不断进步，特别是深紫外浸没光刻技术的发展，亚波长结构的制造变得更加可行。未来，亚波长光栅超材料有望在更广泛的波长范围内实现应用，例如在中红外波段的传感和通信领域。此外，通过设计具有更大特征尺寸的亚波长结构，可以进一步降低制造难度，推动亚波长光栅超材料在大规模制造中的应用。