半导体非标(Non-standard secs)机台的EAP(自动化)建设
本文将从如下几个方面来说明非标机台的EAP(自动化)建设思路。
1. 为什么会有非标(不支持secs协议)机台;
2. 为什么非标机台需要自动化能力;
3. 非标自动化如何实现;
4. 非标自动化效果如何;
5. 非标自动化建设中会有哪些问题;
1. 为什么会有非标(不支持secs协议)机台;
a. 半导体设备在初期,支持secs协议并不是必须的,在交付时,并没有在设备软件上增加这个功能;
b. 这些设备还有使用的价值,一直在使用;
c. 这些设备增加secs协议,需要供应商支持且费用不低;
2. 为什么非标机台需要自动化能力;
a. 没有自动化,就需要人来操作,但人操作就会有出错的时候,无论如何要求,MO无法避免;
b. 成本因素,用工成本持续上升,人员的培训和熟练的周期也比较长,增加成本;
c. 产业升级导致自动化变成必须的基础,没有自动化,就无法做到智能制造;
3. 非标自动化如何实现;
技术的发展,让非标机台可以实现标准自动化主要功能。
方案一:在机台端布署软件,借助AI技术,完成对机台的控制,实现自动化;
方案二:借助KVM设备,结合AI技术,完成对机台的控制,实现自动化。两个方案达成的目标一致:没有修改机台端软件,保持机台端软件的独立。完成了自动化的操作,在整个过程中,没有人为的干预,很好解决了核心问题。
4. 非标自动化效果如何;
达成自动化的目标,自动化的主要功能都能很好完成,虽然有一定的维护工作,但完全可以接受。抓住了核心的功能,无法做到Secs/Gem的全面,但完全能替代人员的手工操作。
5. 非标自动化建设中会有哪些问题;
相对于标准自动化设备,非标设备的自动化改造,运维的成本要高于标准自动化机台。硬件的布署和安装、运维,都需要额外的成本,另外,非标自动化受都干扰的因素多,会出现自动化执行出错的情况,而且,这个问题还无法100%解决。另外一点,标准的EAP机台可以很好支持FDC、RMS、APC等功能,但非标改造的自动化机台,很难做到支持FDC、RMS、APC等功能,也需要定制开发。
以上是对非标自动化改造的浅谈,希望能给大家一些帮助和启发,欢迎留言,共同探讨。