MEMS在光通信，射频无线通信，生物工程技术，工业传感器及其他民用及军事工业领域具有广泛的应用前景。微型机电系统（MEMS : Micro Electro-Mechanical System），是专指那种外形轮廓尺寸在毫米量级以下，构成它的机械零件和半导体元器件尺寸在微米—纳米量级(10-6米—10–9米)，可对声、光、热、磁、运动等自然信息进行感知、识别、控制和处理的微型机电装置。它是正在飞跃发展的微米/纳米技术的一项十分重要的成果。它将微型电机、微型电路、微型传感器、微型执行器等等微型装置和器件集成在硅片上, 这种微型机电系统不仅能够搜集、处理与发送信息或指令, 还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。
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