与传统机械雷达相比,MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 激光雷达使用微型的MEMS mirror反射光线,用微机电执行器代替电机,有些厂商也称MEMS激光雷达为固态雷达。
以Leddar Tech的MEMS激光雷达模块为例,
另外一个示例
MEMS micro-mirror有电磁式Electro-Magnetic,压电式Thin-Film Piezo,静电场式 Electrostatic 几种实现方式。
电磁式Electro-Magnetic,
压电式Thin-Film Piezo,
静电场式 Electrostatic,
三种类别的特性对比如下
MEMS mirror在一些消费品电子像AR眼镜上也有应用。