LiDAR 3 MEMS激光雷达

本文探讨了MEMS激光雷达,其利用微型电磁、压电和静电场微镜进行光反射,与传统雷达对比,并以LeddarTech产品为例,介绍了不同实现方式的特点。此外,还提及了MEMS微镜在消费电子如AR眼镜中的应用。
摘要由CSDN通过智能技术生成

与传统机械雷达相比,MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 激光雷达使用微型的MEMS mirror反射光线,用微机电执行器代替电机,有些厂商也称MEMS激光雷达为固态雷达。
以Leddar Tech的MEMS激光雷达模块为例,
在这里插入图片描述另外一个示例

MEMS micro-mirror有电磁式Electro-Magnetic,压电式Thin-Film Piezo,静电场式 Electrostatic 几种实现方式。

电磁式Electro-Magnetic,
在这里插入图片描述
压电式Thin-Film Piezo,
在这里插入图片描述静电场式 Electrostatic,

三种类别的特性对比如下
在这里插入图片描述
MEMS mirror在一些消费品电子像AR眼镜上也有应用。
在这里插入图片描述

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