光学MEMS振镜是激光扫描的最关键的器件,目前来说,按照不同的驱动方式,分为静电式、压电式、电磁式、热电式。作为光学MEMS入门小白,在此主要说清楚二维MEMS振镜扫描成像的原理。
二维MEMS振镜也称为二维谐振振镜,能够沿两个轴做简谐振动的反射镜,在做谐振运动的时候,就产生了李萨如图形。
利萨茹(Lissajous)曲线(又称利萨茹图形、李萨如图形或鲍迪奇(Bowditch)曲线)是两个沿着互相垂直方向的正弦振动的合成的轨迹。
MATLAB仿真源码如下:
function lissajousfigures() %李萨如图形
clear;
clc;
global A1 w1 fai1 A2 w2 fai2;
options={'水平振动振幅A1','水平振动频率w1