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原创 Athena仿真-----网格和镜像

由基础知识知道了怎么创建基本矩形网格,在关键的位置处的网格精细,如PN结或反型层的位置。同时,网格越细密仿真速度越慢,所以需要在关键的位置有精细的网格,较多的网格点,非关键区域的网格数量减少。比如在10um的衬底上进行掺杂,只需要掺杂区域的网格精细,其余区域的网格数量少,仿真精度没有降低的同时提高仿真速度。可以使用非均匀网格分布,在必要的位置处设置小的spac,在非必要处设置大的spac。但这种简单的方法减少的网格在设计中还不够,还需要其他方法减小非必要区域的网格点。

2023-04-12 10:42:13 387

原创 Athena工艺仿真基础知识

当deckbuild运行或者当前的模拟器被设置为Athena,打开Commands菜单,如图所示。然后,选择,然后将出现Athena网格定义菜单。固定这个弹出窗口,因为它将经常被用于设计一个初始网格。右边的网格图可以通过点击右下角的ViewGrid显示。由上图可知,X方向的网格时非均匀的,Y方向的网格是均匀的。点击write自动输出以下代码。loc(location)表示轴上的一点,spac(spacing)表示该点处的间距。注:1)Athena模拟的最大网格节点数是20,000个。

2023-04-12 10:38:03 2254 1

原创 SPAD器件仿真--物理模型

关于硅基的APD仿真的一些物理模型简单介绍

2023-04-11 10:11:47 2565 2

原创 SPAD器件仿真(一)器件参数提取和dark下的I-V曲线仿真

第二行代码:提取器件的结深,可以通过更改junc.occno的数值,选择提取的是第几个pn结的结深(junc.occno=1提取第一个pn结结深,junc.occno=2提取第二个pn结结深)在之前的器件结构中,在doping中可以设置掺杂的深度,从而知道pn结的大致深度,具体的数值可以通过对器件结构文件进行参数提取,文件必须是进行过初始化的结构文件(.str)。可以提取的参数有很多,这里说一下关于常用的PN结结深和最大电场的提取。第二行,第三行代码:提取最大电场强度的坐标。

2023-03-10 10:22:03 1050

原创 SILVACO的单光子雪崩光电二极管(SPAD)器件结构设计

在silvaco软件上的SPAD器件结构设计

2023-03-09 15:38:51 1476 2

原创 SILVACO TCAD 软件使用参考

推荐新手书:唐龙谷老师《半导体工艺和器件仿真软年间Silvaco TCAD实用教程》。 本篇文章主要参考这本书和ATLAS说明书。因为是自己写的和软件翻译的,也许会有错误,但应该不会影响阅读理解。

2023-03-07 15:48:08 4652 2

siliaco器件与工艺模拟实验讲义 .zip

内部有很多特别好的例子,是siliaco软件里没有的,对这些例子的每一步也有进行讲解,适合新手学习 。 1. Thin Film Resistor: Creating an Thin Film Resistor Using ATHENA 2. Zener Diode 3. MS Junction: Creating a M-S Junctiong Using ATLAS 4. NMOS Device:Creating a NMOS Device using ATHENA 5. NMOS Device:NMOS Device simulation using ATLAS 6. NMOS Devise: Creating a NMOS Devise using DEVEDIT 7. MESFET Device 8. BJT Device 9. Solar Cell 10. TFT

2023-04-11

半导体工艺-离子注入和快退火工艺

半导体工艺--离子注入和快退火工艺

2023-03-22

ATLAS器件仿真使用说明书

详细讲解了ATLAS器件仿真的内容,ATLAS器件必备。

2023-03-15

silvaco tcadPPT,唐龙谷老师课本的配套PPT

silvaco tcadPPT,唐龙谷老师课本的配套PPT。 Atlas提供了基于物理的二(2D)和三维(3D)模拟的一般能力。Atlas被设计为与VWF交互式工具一起使用。VWF交互工具是DeckBuild, TonyPlot, DevEdit, MaskViews, and Optimizer. Atlas提供了许多可以通过DeckBuild构建访问的示例,这些例子展示了Atlas的大部分能力。这些示例中提供的输入文件是开发自己的输入文件的一个很好的起点。Ctrl+c/v是一个好习惯

2023-03-09

SILVACO TCAD ATLAS的个人总结知识

SILVACO TCAD ATLAS的个人总结知识

2023-03-07

silvaco tcad examples

学习silvaco tcad 的一些例子,免费学习的重要手段

2023-03-07

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