SILVACO的单光子雪崩光电二极管(SPAD)器件结构设计

首先，器件设计先进行网格划分，建立一个x=20um，y=11um的网格区域。

mesh space.mult=1.0

x.mesh  loc=0.0   spac=0.5
x.mesh  loc=1.0   spac=0.1
x.mesh  loc=1.5   spac=0.1
x.mesh  loc=4.0   spac=0.01
x.mesh  loc=5.0   spac=0.1
x.mesh  loc=9.75  spac=0.25
x.mesh  loc=10.25 spac=0.25
x.mesh  loc=15.0  spac=0.1
x.mesh  loc=16.0  spac=0.01
x.mesh  loc=18.5   spac=0.1
x.mesh  loc=19.0   spac=0.1
x.mesh  loc=20.0  spac=0.5

y.mesh  loc=0.0   spac=0.1
y.mesh  loc=1.0  spac=0.1
y.mesh  loc=2.47  spac=0.01
y.mesh  loc=4.0  spac=0.1
y.mesh  loc=5.0  spac=0.1
y.mesh  loc=6.0  spac=0.1
y.mesh  loc=7.0  spac=0.1
y.mesh  loc=11.0  spac=0.5

建立网格之后可以进行region划分，也可以进行网格删减eliminate操作，eliminate主要是为了减少网格数量，从而加快仿真速度。如：

eliminate rows x.min=0 x.max=20 y.min=8 y.max=11
eliminate columns x.min=0 x.max=20 y.min=8 y.max=11
eliminate x.dir x.min=0 x.max=20 y.min=3 y.max=5

划分电极anode和cathode

electrode name=anode   x.min=9.75 x.max=10.25 y.min=0 y.max=1.0 material=aluminum
electrode name=cathode x.min=2   x.max=2.5 y.min=0 y.max=1.0 material=aluminum
electrode name=cathode x.min=17.5 x.max=18 y.min=0 y.max=1.0 material=aluminum

进行掺杂doping操作,uniform均与掺杂，形成P-外延层，conc掺杂浓度，每一次doping中都要有掺杂命令doping，掺杂类型（n.type / p.type），掺杂方式（均与、高斯等等），掺杂深度(junc或characteristic等)，位置（x.min,x.max,y.min,y.max），区域（region），具体可以看之前的文件ATLAS的一些基础知识。

doping p.type conc=1e14 uniform region=1 outf=dopfile.dat
doping n.type gauss conc=2e18 peak=1.0 characteristic=0.2 rat=0.1  \ 
      x.min=2 x.max=2.5 region=1
doping n.type gauss conc=2e18 peak=1.0 characteristic=0.2 rat=0.1   \ 
        x.min=17.5 x.max=18 region=1
doping n.type gauss conc=1e16 peak=1.0 junc=6.0 rat=0.1      \ 
         x.min=2 x.max=18 region=1
doping p.type gauss conc=2e16 peak=1.0 junc=3.0 rat=0.06      \ 
        x.min=4 x.max=16 region=1
doping p.type gauss conc=1e18 peak=1.0 characteristic=0.2 rat=0.1   \ 
        x.min=5 x.max=15 region=1
doping p.type gauss conc=2.5e17 peak=2.0 characteristic=0.2 rat=0.1   \ 
        x.min=5 x.max=15 region=1
doping n.type gauss conc=1e18 peak=2.7 characteristic=0.2 rat=0.1   \ 
        x.min=5 x.max=15 region=1

最后就可以进行保存了。

output语句是可以保存想要的一些量，如总电场强度（e.field)、导带（con.band）、价带（val.band），再进行初始化之后，在结构中就可以显示总电场强度，导带和价带等存储量。

output e.field con.band val.band 
solve init

save outfile=DCL_devices.str
tonyplot DCL_devices.str 

关于spad的一些仿真会在以后进行。

 关于spad的一些仿真会在以后进行。