元胞形状及版图布局

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文章标签：笔记

于 2023-05-13 21:27:13 首次发布

本文链接：https://blog.csdn.net/2303_77116490/article/details/130662348

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本文介绍了MOS器件的六种元胞形状，包括条形、方形、圆形、六边形、8字形和原子晶格元胞，详细讨论了它们的布局特点、电场分布以及对器件性能的影响，特别指出六边形元胞因工艺难度和面积利用率的平衡而被广泛应用。

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MOS器件常用的元胞形状及布局如下图所示。其中阴影部分表示多晶硅，空白部分为源区杂质注入窗口。

1. 条形元胞

制造工艺简单，但是在所有图形中条形元胞的沟道宽度较小，因此有较高的导通电阻。

图 3.5(a) 条形元胞条形布局以及由其衍生出来的梳状和蛇形布局都会在布线中出现转角或者截止端，通常为了方便布线，将这些地方都设计成直角。在器件的制作中，这些直角的地方由于杂质的扩散会形成 1/8 球面结，击穿电压会低于其他部分的 1/4 柱面结。同样的情况也发生在图 3.5(b) 的正方形元胞田字形布局和图 3.5(c) 的品字形布局上。这几种布局通常运用在低压 MOS 器件上。