自由振子探针原子力显微镜的思路与框架设计

目录：

1 引言

2 设计思路

2.1 基本思路

2.1.1 激光反射式AFM的工作原理、工作模式

2.1.2 灵感来源：电磁悬挂的玩具地球仪

2.1.3 用电磁悬挂、电磁驱动的自由振子取代悬臂子系统

2.2 影响自由振子振动频率的主要因素

2.3 可能具备的有益属性

2.3.1 提高探针的振动频率

2.3.2 电磁驱动自由振子提高z向扫描反应速度

2.3.3 取消固体连接使探针的z向振动不再干扰x-y向扫描

2.3.4 用感应线圈感知振子z向位移可能降低对PSD性能的要求

2.3.5 将系统组件放大到宏观尺度以降低成本

2.3.6 取消悬臂降低了振动导致的流体干扰

2.4 改进思路：增大驱动线圈的驱动力以实现磁悬浮、取消电磁悬挂装置

3 自由振子探针原子力显微镜（基础型）

3.1 硬件框架设计

3.2 在AFM控制系统中深入应用FPGA

3.2.1 探针振动频率的提升对AFM控制系统提出的要求

3.2.2 用感应线圈感知振子z向位移对AFM控制系统提出的要求

3.2.3 FPGA及其性能特征

3.2.4 深入应用FPGA的自由振子探针AFM控制系统框架设计

3.3 测量工作的过程

3.4 重要的问题：自由振子的x-y向稳定性

3.4.1 自由振子的x-y向稳定性困境

3.4.2 自由振子、驱动线圈的磁场特征

3.4.3 解决问题的基础思路

3.4.4 更多影响因素：加工、装配误差

4 鼠笼转子驱动的自由振子探针原子力显微镜

4.1 基本思路

4.2 硬件框架设计

4.3 控制系统简述

4.4 磁场干扰问题

5 结语

声明：

本文由笔者（并非原子力显微镜专业人士）在多方学习的基础上独立创作。限于检索资料的范围，除了特殊声明之处，笔者不声称所述技术思想是本人原创。任何先于本文公开发布的、与本文部分内容相同或相近的技术信息的原创者，享有更优先的知识产权。

正文：

1 引言

当原子力显微镜（AFM）工作在非接触模式、轻敲模式（参考资料1第2.3节），探针一直处于纵向振动状态，有效采样速率与探针振动频率正相关。提高探针振动频率对于提高AFM的工作效率具有非常重要的意义。

笔者已知的AFM探针都是安装在悬臂梁上，不论采用间接驱动（例如压电陶瓷经针托-悬臂梁驱动探针）（参考资料2图1-2）还是直接驱动（例如用磁场驱动固定在悬臂末端的微型磁珠）（参考资料2图1-4），探针的振动频率都要受到固体悬臂梁共振频率的制约，而悬臂梁的共振频率又要受到其本身的物理特性（几何形状与尺寸、材料密度、材料杨氏模量）的制约（参考资料2式1.17）。

同时，悬臂梁的其他物理特性（劲度系数、Q因子等）制约着探针共振频率变化的响应时间（参考资料1第2.3节）。

上述制约关系（以及笔者未查到的其他制约关系）导致，基于悬臂梁的AFM探针的共振频率上限是300kHz左右（参考资料1表1）。

针对上述问题，为了提高AFM探针在非接触工作模式、轻敲工作模式下的振动频率，本文基于电磁悬挂玩具地球仪的思路阐述了一个AFM设计思路：自由振子探针原子力显微镜，以期为AFM相关的研究、应用工作提供参考。

由于笔者不具备深入研究这一思路的客观条件，所以只能在现有知识范围内对其进行定性分析。

同时，笔者作为资深FPGA应用研发工程师，将结合他人已发表的工作成果，针对这一技术思想涉及的、适合发挥FPGA性能优势的细分功能需求，就在AFM控制系统中深入应用FPGA技术以优化AFM的性能提出一些建议。

2 设计思路

2.1 基本思路

2.1.1 激光反射式AFM的工作原理、工作模式

图1是典型结构的激光反射式AFM的工作基本原理图。

图1 激光反射式AFM工作基本原理（截图自参考资料1图1-a）

图中包括（本自然段以下内容直接摘自参考资料1第2.1节）一个由微加工技术制备的可以振动的悬臂（常用的材料是硅或者氮化硅），悬臂的末端有一个与悬臂梁一体的尖锐针尖，悬臂的背面镀有一层金属以达到镜面反射。当一束激光照射到悬臂上，光斑被反射到一个对光斑位置非常敏感的光电探测器上。当针尖扫描样品表面时，由于针尖与样品之间存在相互作用力，悬臂将随样品表面形貌的起伏而产生不同程度的弯曲形变，因而反射光斑的位置也会发生变化。通过光电二极管检测光斑位置的变化，就能获得被测样品表面形貌的信息。

为方便表述，以下将上述基于激光器+反射镜面+光电探测器（通常采用二维PSD）的、用于实时+精确测量探针z向高度的装置称为探针高度实时测量仪。

图2提供了AFM工作的非接触模式、轻敲模式的示意图，详细的原理说明请参阅参考资料1第2.3节。

图2 (a) AFM接触模式、非接触模式和轻敲模式的示意图；(b)不同模式的大致工作范围(区分并不严格) （截图自参考资料1图2-a、2-b）

2.1.2 灵感来源：电磁悬挂的玩具地球仪

这一思路的灵感来源是图3 所示的玩具地球仪。

图3 电磁悬挂的玩具地球仪

（图像来源：http://www.360doc.com/content/14/0222/02/15593340_354653996.shtml）

其中，地球模型的顶部嵌入了一块永磁体，在悬挂梁顶部的底面正对着永磁体的位置嵌入了一个竖直放置的电磁铁、一个测量永磁体顶部与电磁铁底部之间的高度差（以下称为z向距离，本文所用直角坐标系的z向是地表竖直向上的方向）的装置。

当地球模型的位置偏低、z向距离大于某个设定值（以下称为z向距离平衡值）就自动增大电磁铁的线圈电流、用增大的磁力将地球模型拉近悬挂梁，反之则减小线圈电流、放任地球模型下坠并远离悬挂梁，直至z向距离稳定在z向距离平衡值，用这个负反馈控制环路（以下称为悬挂控制器）实现地球仪的稳定悬挂。

2.1.3 用电磁悬挂、电磁驱动的自由振子取代悬臂子系统

借鉴第2.1.2节所述悬挂地球模型的机制，如果把图3中的地球模型换成底部加装探针的、具备z向永磁性的柱状自由振子，再给套在自由振子上的驱动线圈加载交变电流从而产生z向、-z向的交变磁场，就能驱动自由振子沿z向、-z向的反复振动。

用这个自由振子及其悬挂-驱动系统取代图2中基于固体悬臂、压电励振器的探针支持-驱动系统，就能实现探针的受迫振动（结构示意图在第3.1节）。

2.2 影响自由振子振动频率的主要因素

自由振子取消了悬臂，其振动过程、响应特性不再受悬臂固体材料的复杂力学属性（杨氏模量、劲度系数、Q因子等）的制约，其振动频率的上限主要取决于驱动线圈磁场驱动自由振子永磁体（忽略探针的质量）产生的加速度的上限 -- 根据牛顿第二定律，也就是取决于驱动线圈在自由振子所处区域产生的磁场强度、自由振子永磁体本身的磁场强度（此二者决定了自由振子所受的驱动力的上限）、自由振子的质量。

驱动线圈在自由振子附近产生的磁场强度取决于两者之间的几何尺寸关系与位姿关系、驱动线圈的电流大小与匝数，自由振子永磁体本身的磁场强度、质量都取决于其材质、体积。

随着振子振动频率的增大，基于对振子位移进行实时测量而精确控制振子移动过程（振子z向位置-时间曲线）的反馈控制系统的性能，将成为决定振子有效振动频率上限的主要因素之一。

2.3 可能具备的有益属性

笔者限于一些具体的情况，目前没有条件就第2.3节所述的自由振子、驱动线圈的参数进行量化设计，只能基于自由振子原子力显微镜在结构上的创新性，通过定性分析，探讨其可能具备的有益属性。

2.3.1 提高探针的振动频率

在摆脱了固体悬臂材料的力学属性的制约之后，只要选用磁化强度更高的永磁体，并且在第2.2节所述的自由振子、驱动线圈的各项几何参数之间进行折中、优化，使自由振子在磁场驱动之下获得更大的加速度，就有可能用简单得多的方式提高自由振子的振动频率。

小时候玩过的的磁铁，能以显著高于重力加速度的加速度将小件铁器“瞬时”吸起来；码头上的龙门吊车的电磁铁，能稳定吊起重量很大的集装箱。所以，上述系统中自由振子振动的加速度、振动频率的提高，是可以期待的。

2.3.2 电磁驱动自由振子提高z向扫描反应速度

关于改变z向振动中心乃至改变振动波形以实时、精细化调节探针-样品距离的需求，相比于压电步进马达几十kHz的本征频率（参考资料5第2.4节），自由振子探针AFM驱动自由振子的机制不受固体材料的制约，且调节量是灵活可控的驱动线圈电流。

只要采用高性能的反馈控制系统（例如深入应用FPGA的系统，见第3.2.4节），用电流灵活可控的驱动线圈产生强度、方向灵活可控的磁场以驱动自由振子，就有可能在z向扫描过程中实时（低延迟量+低延迟抖动量，下同）提取自由振子z向位置变化的过程的特征量并予以实时分析、判断，据此实时调节驱动线圈的电流、实时调节自由振子的受力，使其z向位置变化曲线更为实时地趋近我们需要的曲线，例如，更实时、更精确地跟踪扫描过程中遇到的样品表面地形变化。

2.3.3 取消固体连接使探针的z向振动不再干扰x-y向扫描

在基于悬臂的AFM系统中，只要采取在x-y向扫描的同时振动悬臂的工作模式，悬臂的z向振动就会不可避免地经过固体结构件干扰x-y向扫描（参考资料4第4.2.2节）。

自由振子探针AFM的探针与基座、x-y向扫描组件之间没有固体连接，也就从根本上消除了上述干扰。

当然，根据牛顿第三定律，驱动自由振子振动的力也会反作用于驱动线圈。由此导致的振动，与压电陶瓷驱动产生的“硬”振动相比，直观上看两者不属于同一个数量级 – 这个推测需要由更深入的研究工作予以验证。

2.3.4 用感应线圈感知振子z向位移可能降低对PSD性能的要求

如图4所示，棒状永磁体两端磁场的磁力线有x-y方向分量。

图4 棒状永磁体、通电螺线管的磁力线形状

（图像来源：https://www.51wendang.com/doc/ab9a4b41851fc66b8a7c9972/14）

如果在自由振子的这一区域布设一组与永磁体同轴的感应线圈，自由振子沿z轴振动导致的其所带永磁体磁力线的x-y方向分量将被感应线圈切割，从而在这些感应线圈中感生出电动势。

实时测量这一组电动势、实时分析其关联特征，就能实时感知自由振子的z向位移，从而为测量自由振子的z向位移提供更多信息。

如果深入研究证明这种感知机制有可能用于精确、实时地测量自由振子z向位移，就有可能用于降低的基于激光-PSD的探针高度实时测量仪（第2.1.1节）的产品等级（也就是成本），甚至有可能直接将其替换为非实时的、精度较低的、成本较低的、其他种类的测距装置（例如红外测距）。

2.3.5 将系统组件放大到宏观尺度以降低成本

如果同时增加驱动线圈的几何尺寸（从而增加线圈的电流x匝数的乘积）、增加自由振子的几何尺寸（从而增加永磁体的磁场强度），虽然会增加自由振子的质量，但也可以增加两者的磁场强度，最终对自由振子加速度上限的影响未必一定是负面的。

即，有可能借此突破常规AFM必须将悬臂设计成微型器件的限制，用厘米级甚至更大的宏观尺度的驱动线圈+自由振子实现对原子力显微镜探针的高频微动（亚纳米级）驱动，从而节省下因为悬臂微型化而导致的成本。

当然，自由振子质量的增大虽然可以增强永磁体的磁场强度，却使AFM测量所针对的范德瓦耳斯力、静电力、化学键力、泡利排斥力等（参考资料1第2.2节）的合力相对于自由振子的质量更为微小，从而这些力对自由振子振动轨迹的影响将更难以测得，即，降低了AFM的灵敏度。

这种灵敏度的降低效应是否足以影响AFM的实用价值，需要在实际的研究工作中做出判定。

2.3.6 取消悬臂降低了振动导致的流体干扰

在液体环境下，如果将自由振子设计为下端为尖锐圆锥体、平滑过渡的细长圆柱体（类似于用旧式转笔刀削好的铅笔），由于不再有悬臂、针托的搅动作用（参考资料2第1.2.2节），其振动产生的流体干扰将有可能显著降低。

2.4 改进思路：增大驱动线圈的驱动力以实现磁悬浮、取消电磁悬挂装置

如果驱动线圈对自由振子的驱动力足够大，甚至几倍于其所受的重力，则上述磁力悬挂装置将成为多余的部件，完全可以由驱动线圈的磁力在对抗自由振子的重力的同时驱动自由振子做z向、-z向振动。

以下讨论将不考虑这一改进方法，仍然基于带电磁悬挂装置的思路。

3 自由振子探针原子力显微镜（基础型）

3.1 硬件框架设计

图5是基础型的自由振子探针原子力显微镜的硬件框架设计示意图（未画出控制、供电部件），其中采用了基于激光-PSD的探针高度实时测量仪（第2.1.1节）。

（a）侧上方视图

（b）侧下方视图

图5 基础型的自由振子探针原子力显微镜的硬件框架设计示意图

图中：

土黄色部分是底座（后述所有的z向位置都以底座底部平面作为基准面）。

蓝色部分是载物台，承载绿色的被测样品，被红色的x、y方向的宏动-微动驱动组件（参考资料4第4.2.2、4.3、4.4节）驱动，以实现探针在x-y向对被测样品的扫描。本文不考虑x-y向扫描的设计细节。

青色部分是悬挂梁，被红色的z方向的宏动-微动驱动组件（参考资料4第4.2.2、4.3、4.4节）驱动，以在改变悬挂梁的z向位置，使其在z向接近、远离被测样品。本文不考虑振子悬挂梁的驱动、z向位置的测量与反馈控制的设计细节。

嵌在振子悬挂梁中部下方的黄色圆柱体是电磁铁（以下称为悬挂电磁铁），其正下方中间的深紫色圆柱体是以永磁体为主体的自由振子，振子底部装有探针，顶部镀有反光层用以把激光反射到PSD，加工时尽可能确保其材质均匀、几何对称、几何中轴线与本体携带磁场的中轴线重合。

自由振子未振动时其顶部相对于悬挂电磁铁底部的z向距离由第3.2节所述方式测得，由第2.1.2节所述的悬挂控制器确保这个z向距离趋近于预设的值（也就是第2.1节述及的z向距离平衡值）。

夹持固定在悬挂梁下方的、套在自由振子外面的黄色圆柱环是用于驱动自由振子的空心电磁线圈（以下称为驱动线圈），其高度与自由振子的永磁体部分基本相同（理由后述），加工时尽可能确保其内部磁场轴对称，装配时尽可能确保其磁场中轴线与自由振子的磁场中轴线以及用于悬挂自由振子的电磁铁的中轴线重合，以下将这个中轴线称为共同中轴线。

悬挂梁上方的棕色斜向圆柱体、长方体分别为图1中的激光器、光电探测器（通常为二维PSD），连接两者的棕色细折线是激光光路，再加上自由振子顶部的反光面，共同构成第2.1.1节所述的探针高度实时测量仪，激光器、光电探测器的安装基座（图中未画）与底座固化为一体。

对于光路下端拐角处的有效反射（反射激光光斑能落到光电探测器探测面上的有效工作区域即为有效反射）光路占据的空间区域，以及自由振子顶部反光面在振动过程中扫过的空间区域，两者的交集就是自由振子顶部反光面的有效反射空间区域（以下称为反射区域）。

悬挂电磁铁左侧的棕色圆柱体是第2.3.4节最后所述的低成本非实时测距装置。

3.2 在AFM控制系统中深入应用FPGA

已有成熟的设计将FPGA应用于基于激光-PSD的光斑位置测量系统，详情见参考资料6。

自由振子探针AFM为大幅度提高探针振动频率提供了可能性，振动频率的提高将对AFM控制系统的实时性提出更高的要求。

考虑第2.3.4节提出的用感应线圈感知振子z向位移的思路，由于自由振子振动幅度很小（纳米、亚纳米级），待测的感生电流将非常小，并且受到驱动线圈交变磁场感生电流的干扰，从而对AFM控制系统执行多通道、复杂算法的实时性提出更高的要求。

针对上述两点需求，考虑FPGA相比于CPU+软件在性能上的显著优势，在AFM控制系统中深入应用FPGA，很可能有助于提高系统性能。

3.2.1 探针振动频率的提升对AFM控制系统提出的要求

第2.2节分析了影响自由振子振动频率的几个主要因素。如果借助自由振子、驱动线圈的优化设计已经实现了更高的探针振动频率（例如从300kHz提升至3MHz），就必须考虑与之对应的控制系统的实时性问题。

具体来说，随着探针振动频率的增大，每个振动周期的时长等比例减小。AFM的反馈控制系统将必须在更短时间内完成对PSD输出信号的处理、完成对振子振动特征量（例如调频模式下的振动频率变化的特征、调幅模式下的振动幅度变化的特征，以及基于振动波形分析而获得的特征量）的提取，否则将无法在半个至几个振动周期内感知样品表面地形变化，也无法在感知这种变化之后的单个或少量振动周期内及时调整驱动线圈的励磁电流以改变探针振动波形、使针尖及时跟随样品表面的地形。

这将对自由振子探针AFM的反馈控制系统的实时性提出更高的要求。

3.2.2 用感应线圈感知振子z向位移对AFM控制系统提出的要求

考虑第2.3.4节所述的用感应线圈感知振子z向位移的思路，由于自由振子的z向位移为纳米、亚纳米级，其所携带的永磁体的磁场的x-y向分量在感应线圈中感生的电流（以下称为有效感生电流）必定非常小。

并且，感应线圈还处于驱动线圈产生的、随时变化的交变磁场之中，由此感生出的电流（以下称为干扰感生电流），必将远大于自由振子z向位移感生得到的电流。

为了将有效感生电流与干扰感生电流进行区分进而获取自由振子的z向位移，很可能需要在数据数据处理算法方面做一些比较复杂的工作。

例如，用多个感应线圈分别感应其所处位置的感生电流，然后对多路感生电流进行联合分析，对比其波形特征，从中寻找与自由振子z向位移存在数量关系的特征量。

由于需要并行分析多路感生电流，分析算法会比较复杂，同时必须确保足够的实时性（以流水线工作模式，以半个至几个振动周期的延迟，持续输出测量结果数据流），这一思路的实施，将对AFM的反馈控制系统提出更高的要求。

3.2.3 FPGA及其性能特征

FPGA芯片提供了大量分布式硬件资源（可编程的逻辑单元、寄存器、可配置的乘加单元、RAM块、可编程连线、对外IO引脚、高速串行接口、DDRx-SDRAM接口），能够用硬件直接实现算法，不再采用CPU-软件体系结构的基于指令解码与任务调度+多级存储器访问的算法实现机制。

FPGA内部的大量硬件模块高速、并行运行各自负责的算法，各模块之间以纳秒级定时精度交换数据、协同工作，操作数、运算中间结果的存取机制简单且高效，功能极其灵活，引脚丰富，开发调试手段深入硬件底层，可以经专用接口直接访问片外DDRx-SDRAM，借助专用高速串行接口实现各种串行总线协议、实现与CPU或（/和）其他FPGA的高速+实时通信。

FPGA适合实现基于多路高速并行精准协同采样、高速并行运行多路大运算量精准协同算法、多通道输出精准协同、实时（低延迟量+低延迟抖动量，下同）的高性能复杂反馈控制系统，为自由振子探针AFM在振子高频振动情况下的系统控制优化提供了先进的基础技术。

进而，FPGA的上述性能，为可能存在的、此前由于不能实时运行而被放弃（但性能更好）的探针振动轨迹跟踪与反馈控制算法的实用化提供了技术手段，为探索实时运行的新型探针振动轨迹跟踪与反馈控制算法提供了技术手段。

3.2.4 深入应用FPGA的自由振子探针AFM控制系统框架设计

图6是在参考资料6的基础上深入应用FPGA的自由振子探针原子力显微镜控制系统框架设计图，图中FPGA内的各模块都由独立的硬件资源予以实现，在MCU、系统管理模块的统一管理下并行、协作运行。

图6 深入应用FPGA的自由振子探针原子力显微镜控制系统框图（PSD及相关模块借鉴了参考资料6图2）

图中：

蓝色模块构成第2.1.1节所述的探针高度实时测量（仪）子系统，其中还包括自动增益控制、ADC控制模块、系统管理与数据交互模块、系统管理接口设备模块、MCU及其外部总线，这些模块由于是共用模块，未标记为蓝色。

红色模块构成基于感应线圈的自由振子z向位置偏移量测量装置子系统，共用模块与探针高度实时测量子系统相同。

橙色模块构成自由振子悬挂子系统，绿色模块构成自由振子驱动子系统。

x、y、z方向的宏动-微动驱动模块、丝杠-压电陶瓷模块，构成各自方向的宏动-微动驱动组件。

各模块的功能可以望文生义，本文仅介绍基本思想，不对模块的具体情况做详细说明。

部分模块在第3.3节予以说明。

3.3 测量工作的过程

本节介绍采用图5所述的硬件框架、图6所述的控制系统框图的自由振子探针AFM执行测量工作的过程。

在测量过程中，所有操作指令、参数都由操作人员经图6中的系统管理接口设备向MCU下达，再由MCU将指令、参数转换后打包进特定格式的帧、发送给FPGA。FPGA内部的系统管理与数据交互模块用内置的上位机外部总线接口将MCU下达的指令、参数解析出来，再发送给FPGA内部的各模块；并且，系统管理与数据交互模块将FPGA内部各模块上传的测量结果、状态信息打包发送给MCU，MCU将这些信息经系统管理接口设备显示给操作人员。

A 初始状态

自由振子由夹具夹持、呈探针向下的竖直状态，与原子力显微镜本体分开放置；载物台上没有被测样品；驱动线圈、悬挂电磁铁的线圈未通电。

B 装载自由振子

B1 用z方向的宏动-微动驱动组件抬高悬挂梁，借助悬挂梁z向位置感知模块的测量，将悬挂梁抬高至预设的z向位置，为装载自由振子腾出空间。由于悬挂梁的z向移动过程与自由振子的振动过程在时间上是分离的、不需要深亚微秒级的实时控制，所以，图6中将相关控制模块挂在MCU的外部总线上，并未将其放在FPGA内予以实现。

B2 将载有自由振子的夹具移至载物台上，用x、y向宏动-微动驱动组件调节夹具的位置，使自由振子的中轴线对准悬挂电磁铁线圈的中轴线（也是驱动线圈的中轴线，即第3.1节述及的共同中轴线）。

B3 用z方向的宏动-微动驱动组件降低悬挂梁，使悬挂电磁铁的驱动线圈套在自由振子的外围，并且使自由振子顶部的镜面处于第3.1节所述的反射区域之内；由悬挂梁的z向位置可得悬挂电磁铁底部的z向位置，用这个值减去自由振子顶部反光面的z向位置（由探针高度实时测量子系统测得），就得到z向距离（第2.1.2节），并且z向距离到达z向距离平衡值（第2.1.2节），在结构设计上确保此时自由振子的永磁体部分的上、下两端与驱动线圈的上、下两端在高度上基本平齐（原因见第3.4.3节）。

B4 向悬挂电磁铁的线圈加载预设大小的、可以使自由振子悬挂在当前位置（z向距离等于z向距离平衡值）的直流电流（这个预设电流值存在误差）。

B5 启动自由振子悬挂子系统、探针高度实时测量子系统，形成反馈控制回路；夹具松开自由振子，自由振子由于z向平衡距离的误差、B4步骤所述直流电流值的误差而在z向小幅度偏离预设位置；自由振子悬挂子系统根据由探针高度实时测量子系统实时测得的z向距离误差而调节悬挂线圈（内置铁芯）的电流大小，使自由振子稳定悬挂在z向距离等于z向距离平衡值的位置；将已经松开的夹具抽离载物台。

C 加载被测样品

在确保自由振子顶部的镜面不离开第3.1节所述的反射区域（由此确保悬挂控制器正常工作）的前提下，用z方向的微动驱动组件略微抬高悬挂梁，将被测样品放到载物台上；用x、y方向的宏动-微动驱动组件调节载物台的位置，使探针对准被测样品上待扫描区域的扫描起始位置。

D 探针高度初始化

在确保自由振子顶部的镜面不离开第3.1节所述的反射区域（由此确保悬挂控制器正常工作）的前提下，用z向微动驱动组件略微降低悬挂梁，使自由振子底部的探针针尖的z向位置位于非接触模式或轻敲模式下的、初始状态的z向振动中心处。

E 起振、扫描

向驱动线圈施加预设周期、预设波形（波形在扫描开始后需要根据自由振子z向位置波形而实时调整）的时变电流，驱动自由振子在预设的（或时变的）频率下做受迫振动；用x、y方向的微动驱动组件调节载物台、被测样品的位置，使探针扫描被测样品。

在自由振子振动过程中，借鉴第2.1.1节所述的基于悬臂的AFM工作原理，由于针尖与样品之间存在相互作用力，针尖振动的z向中心位置将随样品表面形貌的起伏而产生不同程度的起伏，因而反射光斑的位置也会发生变化。通过PSD检测光斑位置的变化，就能获得被测样品表面形貌的信息。

同时，针尖振动的z向中心位置将随样品表面形貌的起伏而产生不同程度的起伏，自由振子上的永磁体磁力线被感应线圈组切割将产生随这种起伏而变化的感生电流。通过模拟测量环节、数字处理环节对这一组感生电流进行感知、分析，就能获得被测样品表面形貌的信息，与基于激光-PSD的测量结果互相印证。

或者，由图6中的自由振子z向位置偏移量综合解算（蓝色）模块将上述两路测量结果进行实时综合判决，得到自由振子z向位置偏移量的实时数据流，与由悬挂梁z向位置感知模块（蓝色）测得的、经MCU总线及系统管理与数据交互模块转发的悬挂梁z向位置值（不要求是快速数据）数据流一起，传输给自由振子z向位置解算模块（蓝色），得到自由振子z向位置的实时数据流，用作悬挂线圈直流电流反馈控制模块（橙色）、驱动线圈交流电流反馈控制模块（绿色）的控制输入量。

3.4 重要的问题：自由振子的x-y向稳定性

3.4.1 自由振子的x-y向稳定性困境

对于基于悬臂的AFM，探针振动x-y向稳定性由悬臂（及其夹持设备）的材料刚度予以确保。

对于基于自由振子的AFM，自由振子处于悬空状态，缺乏固体材料的支撑。在其振动的过程中，外来的各种水平方向的干扰，以及测量过程中样品表面起伏形成的斜面对探针施加的水平方向的作用力，都有可能导致振子的几何中轴线偏离理想的共同中轴线，从而导致探针扫描轨迹偏离预设的路径。

3.4.2 自由振子、驱动线圈的磁场特征

解决这一问题的基础思路来自自由振子、驱动线圈的磁场特征。

如图4所示，不论是驱动线圈的磁场，还是等效于磁铁的自由振子永磁体，两者的磁力线在上、下两端靠近驱动线圈/自由振子永磁体端部的部分，都呈现（相对于共同中轴线）轴对称的、平滑发散（或者说是收敛）的空间走向。

3.4.3 解决问题的基础思路

基于自由振子、驱动线圈磁场的这一特征，倘若如第3.2节步骤B3所述，在结构设计上确保此时自由振子的永磁体部分的上、下两端与驱动线圈的上、下两端在高度上基本平齐，则能使两者的磁场在上、下两端分别发生相互作用时形成以共同中轴线为轴的轴对称作用力，从而对由外力导致的自由振子横向偏斜（横向偏斜会导致两个磁场之间形成横向的附加作用力）形成纠偏作用。

3.4.4 更多影响因素：加工、装配误差

振子的加工、磁化，驱动线圈的绕制、装配，悬挂电磁铁的制造、装配，这些环节都存在误差，这些误差导致第3.1节所述的共同中轴线事实上是不存在的，振子几何中轴线、振子永磁体自有磁场的中轴线、驱动磁场的中轴线、悬挂磁场的中轴线之间存在微小的夹角且互不相交。

在上述各部件的加工、装配精度比较高的情况下，上述各条中轴线之间的夹角很小，第3.3.3节所述的指向（近似的）共同中轴线的轴对称作用力场足以对各轴间夹角导致的附加偏斜进行纠偏，使自由振子下端的探针扫描轨迹的误差保持在允许的范围之内。

如果因为成本限制而导致上述各部件的加工、装配精度难以获得保证，这些轴间夹角的存在，将使自由振子在振动过程中持续受到多个复杂扭矩的联合作用，有可能导致振子轴线相对于理想的共同中轴线发生摆动，从而导致探针扫描轨迹偏离预设的线路。甚至，这种摆动的持续积累，有可能导致振子失稳、与驱动线圈发生碰撞。

第4节将介绍处理这种情况的一个思路。

4 鼠笼转子驱动的自由振子探针原子力显微镜

4.1 基本思路

线膛枪的子弹弹道之所以比滑膛枪子弹弹道稳定，关键因素是螺旋膛线迫使子弹绕其纵轴旋转，子弹出膛后存留的旋转动能会维持其继续旋转，从而使其在飞行过程中的姿态比滑膛枪子弹更稳定。

借鉴这一思路，考虑到鼠笼式异步电动机（简称鼠笼电机，原理见参考资料7）的转子线圈不需要从外部供电，如果将其装设在悬空的自由振子上，转子线圈将能比较容易地被定子线圈产生的旋转磁场驱动，从而带动自由振子其绕纵轴旋转，从而有效地缓解第3.4节所述的自由振子在受迫振动过程中的x-y向稳定性问题。

4.2 硬件框架设计

图7是鼠笼转子驱动的自由振子探针原子力显微镜的硬件框架设计示意图。

（a）侧上方视图

（b）侧下方视图

（c）去掉驱动线圈、鼠笼电机定子线圈后的局部放大图

图7 鼠笼式转子驱动的自由振子探针原子力显微镜的硬件框架设计示意图

相比于图4，在自由振子下端加装了鼠笼式异步电动机的转子线圈（图7c中的靠近探针的黄色圆柱环），将鼠笼电机的定子线圈（图7中位于黄色圆柱环外侧的深绿色圆柱环）加装在驱动线圈的下方。

4.3 控制系统简述

如参考资料7所述，鼠笼式异步电机的控制非常简单，只需要给定子线圈施加固定波形、幅值的多相交变电流，就能形成用于驱动转子旋转的旋转磁场。

所以，只需要在图5中的MCU总线上挂接鼠笼式异步电机的定子电流生成模块，其他部分不必改变，本节不再赘述。

4.4 磁场干扰问题

如图7所示，自由振子下端附近的空间内，既有驱动线圈产生的磁场，又有悬挂线圈产生的磁场，还有鼠笼式异步电动机的定子线圈产生的磁场，还有鼠笼式异步电动机的转子线圈感生电流产生的磁场。这些磁场之间的互相干扰，有可能影响自由振子在旋转-振动过程中的稳定性。

磁场干扰涉及的问题比较复杂，需要做更深入的研究工作。

5 结语

自由振子探针原子力显微镜将自由振子悬挂在磁场中，使其摆脱了固体悬臂材料的力学属性对探针振动特性的制约，为提高探针振动频率、提高探针振动轨迹对样品表面地形变化的跟踪灵敏度提供了新的思路。

同时，FPGA技术的深入应用，为现有探针振动轨迹跟踪与反馈控制算法在更高振动频率下的实时实现提供了技术手段，为此前由于不能实时运行而被放弃（但性能更好）的探针振动轨迹跟踪与反馈控制算法的实用化提供了技术手段，为探索实时运行的新型探针振动轨迹跟踪与反馈控制算法提供了技术手段。

笔者目前没有深入研究自由振子探针AFM的客观条件，本文只能阐述其基本构想。相关的深入研究，需要由更多对此感兴趣的专业人士予以推进。

（作者微信：linweifpga，欢迎留言、微信交流）

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参考资料：

1 彭金波，江颖，qPlus型原子力显微镜技术，物理，2023年第3期

2 孟祥和，原子力显微镜非共振磁驱技术及其微纳力学测量应用研究，博士毕业论文，哈尔滨工业大学，2023

3 林伟，FPGA的性能特征及其尴尬处境，知乎文章，链接：林伟：FPGA的性能特征及其尴尬处境

4 任佳琦，基于AFM微/纳刻划加工的机理研究及微/纳加工系统研制，博士毕业论文，上海交通大学，2017

5 赵科森，基于水冷磁体扫描探针显微镜的研制与应用，博士毕业论文，中国科技大学，2023

6 张天宇，贾方秀，周强等，基于FPGA的二维PSD信号处理系统设计，中国测试，2019年第8期

7 鼠笼式电机_百度百科（链接：https://baike.baidu.com/item/%E9%BC%A0%E7%AC%BC%E5%BC%8F%E7%94%B5%E6%9C%BA/10403097）