简易主动减振研究平台设计与实现——机械结构篇_主动减振平台设计与实现-CSDN博客

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作者：尖尖

通讯：D.Eng.Y

前言

主动减振系统是超精密制造、测量装备实现精度生成的必要保障。目前在高精度应用中采用的主动减振器成本高，设计复杂。为了进一步降低成本，着眼于主动减振控制算法的研究，本系列旨在设计一套简易主动减振平台。其设计与实现涉及多个方面，包括机械结构设计、电气系统设计，控制算法设计等方面。本小结从机械结构方面介绍如何设计一款简易主动减振研究平台。

1. 设计思路

主动减振平台依托于被动减振平台，在传统被动的基础上加入主动执行器，例如音圈电机，压电电机等实现振动力和能量的补偿。本系统采用模具弹簧作为被动隔振元件，在减振台面四个角采用模具弹簧作为支撑，实现被动减振；采用音圈电机作为执行器，进行主动力的施加；采用加速度传感器采集台面的加速度信号作为反馈量，实现系统的闭环控制。

2. 平台物料

本系统设计采用的物料出于简易与低成本的考虑进行采用能现成购入的标准件。

光学面包板：本系列采用光学面包板作为负载台面以及安装地面，其密度较高，具有一定的质量同时具有标准的安装孔位，是现成能购买的良好减振台面以及安装底面的选择。其单块平台成本在200元左右。

模具弹簧：采用模具弹簧作为被动减振元件，可以选择不同的长度与直径，以实现不同的刚度与高度设计，通过调节台面的质量能够实现主频的设计。其单根弹簧成本在5元左右。

音圈电机：目前市面上能够购入较为便宜的音圈电机仅有圆筒型音圈电机，本系列采用圆筒形音圈电机安装在平台几何中心位置，实现Z方向单自由度的主动减振。其单个电机成本在200元左右。

加速度传感器：测量微振动的加速度传感器需要较高的成本。目前主要采用的加速度传感器有IEPE型压电加速度传感器，电阻式加速度传感器等。本系统采用IEPE型压电加速度传感器，采集台面加速度作为反馈量。需要注意的是，为了测量地面微振动，采用的加速度传感器的量程应在5g以内，通常采用的量程有1g，2g，2.5g等。该量程范围的IEPE加速度传感器成本在2000元左右。

其余安装件：其余的安装件可以采用3D打印进行加工，固定用的螺丝、螺母、垫圈等均为标准件，可直接购买。其余安装件成本在100元左右

3. 模型设计及参数设计

3.1 被动减振平台设计

我们选择的光学平板的材质为硬铝，尺寸为150*150*13 $mm^{3}$ ，质量在0.78kg左右，其上间隔25mm具有M6安装孔位。通过店铺的详细尺寸信息进行平台的建模。拟在四角安装被动减振的模具弹簧。

按照商家介绍，采用的刚度弹簧尺寸为外径6mm，自由长度30mm，极限压力59N，6kg，每毫米产生的力为3.93N，其刚度为3930N/m。根据振动力学的理论，该系统的振动主频为

$f=\frac{1}{2\pi }\sqrt{\frac{K}{M}}=22.6Hz$

忽略一些连接件的重量，上平台质量取0.78kg，作用在四角的弹簧上，每根弹簧受力在0.75*9.8/4=1.9N，则经过压缩后，弹簧形变量为0.483mm。具体弹簧支撑件模型图如下所示。左右图分别为上下弹簧连接件。两者在设计上有区别，左边为上连接件，中间有设计直径为3mm圆柱结构起支撑，避免弹簧弯曲。考虑到弹簧长度误差等，可能导致台面偏移，右图为下连接件，侧壁上开了口子，可以通过添加垫片实现手动对光学平台进行微调水平。

在台面上加入水平仪，采用的为圆形水平泡。水平泡连接件固定在上平台用来判断台面是否水平。模型如下图所示，选择的水平泡直径为10mm，高度为6mm。

3.2 主动减振元件安装

主动减振执行器采用圆筒型音圈电机，其工作电压24V，能够实现0.4kg的推力，5mm的运动行程。按照电机的物理尺寸参数对其进行建模。

设计连接件，分别连接磁筒与底层平台，线圈筒与减振平台。可以根据自己的需求和参数，自行设计。这里需要注意的是，如果对所买的器件不是很了解，可以向客服询问一般情况下是如何进行连接，也可以参考实物演示视频，避免设计疏漏。下面的左右图分别是上下连接件。此处设计需要按照电机高度与上述设计的被动减振平台的高度进行调整，保证线圈筒与磁筒之间具有一定的高度差，保证音圈电机能够稳定的运行，不应出现两者直接接触的情况。

目前采用的加速度传感器有待验证，建模时未加入，后续的更新将完善该部分。

4. 主动减振平台的实现

完成各个零件的建模后进行装配，装配图如下图所示。

购买配件以及3D打印连接件进行组装，最后得到主动减振研究平台如下图所示。

5. 被动减振性能测试

目前主动减振平台的控制系统还需电机驱动器、传感器驱动采集板卡和控制器才能完成闭环控制，相关的部件正在研制中。目前完成平台搭建后，针对被动减振环节进行测试，验证被动减振的性能与设计的结果。

本次测试借助上海XXX实验室的实验场地与实验设备进行。采用国外先进的微振动加速度传感器与采集卡，测量使用的加速度传感器量程0.5g。被动减振主要关注振动传递率，测试过程如图所示。

实验采用的加速度传感器质量约为0.8kg ，安装在减振平台后，重新计算被动隔振的主频降低至16.2Hz。测量基座振动与减振台面振动加速度数据，进行数据分析。通常采用诺莫图，功率谱密度和传递函数等指标评价减振性能。

$f=\frac{1}{2\pi }\sqrt{\frac{K}{M}}=16.2Hz$

从传递函数观测得到，被动减振系统的主频位于20Hz左右，其与理论值不符合，同时出现多个谐振峰，其可能与系统的阻尼的有关。通常系统存在阻尼将导致主频变低，此处出现异常现象有待解释。

从系统功率谱密度函数看，在10Hz以内，振动几乎不变；10-20Hz振动放大；在20Hz之后振动减小。100Hz以后的振动减小到传感器采样噪声以下，故表现出平缓的谱线，实际的振动衰减应该更大，可以采用主动增加激励的方式进行进一步测量。其表现出经典的被动隔振传递现象，即主频之前振动放大，主频之后振动减小。

诺莫图是评价微振动的手段之一，其主要关注1-100Hz的振动信息，也是半导体设备主要关心的振动频段。在减振前后，振动级别均为VC-C级别。需要的原因在于地面振动的峰值在2-3Hz，本系列设计的减振器对10Hz以内无减振效果。如果需要针对2-3Hz进行减振，采用被动的方案则需要主频位于1Hz以内，则需要系统具有较高的质量和较小的刚度，不利于实现。故针对大地等低频振动的减振器主要采用主动形式，这也是后续的探究重点。

240912补充实验测试

在采用激振台面激振的情况下进行振动传递的测试，在1-100Hz的频带内振动降低明显，符合被动减振的振动传递曲线，激振源的引入增加了振动强度，使得传递函数在主频后下降现象明显。值得一提的是在100-1000Hz范围内出现了异常的振动峰值，传函的表现形式也更加复杂。主要原因来源于激振台面本身的高频柔性谐振导致振动放大。