简介:本节以truedyne sensor公司为例,介绍了他们的MEMS传感器技术的积累过程。MEMS传感器的技术核心,是硅谐振测量通道,与传统的谐振器技术相比,MEMS传感器具有许多的优点,例如:更小的尺寸、更加广泛的应用,以及即使是在低压、极短的放映时间内也能达到精确的气体密度测量。
1.什么是MEMS技术:
MEMS的全称,是Micro-Electro-Mechanical Systems,即微机电系统,该技术是基于硅半导体技术的基础上,在复杂的微系统中结合了微电子和微机械等功能。是在融合多种微细加工技术,并应用微电子技术和最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。
半导体技术,是通过使用各种处理技术,在半导体基板(通常由硅制成)上集成几个电子部件(例如光刻和薄膜技术),并组装成芯片。由于芯片生产的各个步骤非常复杂,因此这些步骤会倍增。这些芯片,是由圆形、方形或圆盘形的晶圆制作成的,而晶圆的材料通常与所需基板的材料一致。
半导体技术可实现电子电路的微型化,在传统的电子产品中,电子电路由机械制造的组件组成。 而TrueDyne Sensors AG MEMS芯片具有更高的集成度,不仅具有电子功能,而且还具有与机械和流体相关的性能。
由于对各个组件的要求很高,TrueDyne Sensors 公司的MEMS芯片通常不限于硅基板。 取而代之的是,将不同的材料用于不同的组件,并通过