工具
参考https://blog.csdn.net/Jelly_Zhou/article/details/126074177
TOF-SIMS explorer
设置
溅射离子和分析离子不一样。
溅射面积大于分析面积,防止wall effect边缘效应。
离子模式,是正还是负。
电流大小,一般要使得 cts/extraction 在0.1 - 0.4 之间。
分析
低质荷比奇怪的信号是误差导致。
探测饱和:注意探测器的饱和值。
注意多种离子的可能。
ref
https://avs.scitation.org/doi/10.1116/1.5125102
- C. W. T. Bulle-Lieuwma, W. J. H. van Gennip, J. K. J. van Duren, P. Jonkheijm, R. A. J. Janssen and J. W. Niemantsverdriet, Characterization of polymer solar cells by TOF-SIMS depth profiling, Applied Surface Science, 2003, 203-204(547. (DOI: https://doi.org/https://doi.org/10.1016/S0169-4332(02)00756-0)
- K. G. Saw and S. R. Esa, Time-of-flight secondary ion mass spectrometry fragment regularity in gallium-doped zinc oxide thin films, Scientific Reports, 2021, 11(1): 7644. (DOI: https://doi.org/10.1038/s41598-021-87386-6)