Zernike条纹多项式系数（Zernike Fringe Coeffecients）

Zernike条纹多项式（Zernike Fringe Polynomails），又称为“University of Arizona”多项式，由James C. Wyant教授提出，它属于Zernike标准多项式的另一种表达，更适用于干涉检测方面的表达。

1. Zemax中的“Zernike条纹多项式系数”

在Opticstudio Zemax光学设计软件中可以通过以下功能：

 图1

， 查看波前像差的Zernike条纹多项式系数（Zernike Fringe Coeffecients），如下图所示：

 图2 

，其中：

采样（Sampling）：指定用于计算系数拟合的光瞳网格采样密度。网格尺寸越大越准确，但计算时间会增加。

最大项（Maximum Term）：指定要计算的最大 Zernike 系数。可指定的最高项数为 37 项。

波长（Wavelength）：计算中使用的波长编号。

视场（Field）：计算中使用的视场编号。

参考 OPD 到顶点（Reference OPD To Vertex）：一般情况下， OpticStudio 会参考主光线计算光程差，这实际上减去了波前相位中的倾斜。对于干涉仪，有时需要保留波前倾斜。选中此选项会将倾斜（基于主光线与像面顶点的偏差） 加入到光束中。此选项仅适用于其主光线与表面顶点相当接近的视场位置，且前提是通过主光线偏差所描述的倾斜有效。

表面（Surface）：选择要评估的数据所位于的表面。此选项对评估中间像面十分有用。请参阅“ 在中间面上的结果 评估” 。

子孔径数据（Subaperture Data）：Sx, Sy, Sr 定义为其计算 Zernike 数据的光瞳子孔径。请参阅“ 子孔径计算” ，以了解详细信息。

2. 功能详述

2.1 基本参数

图2中可显示单独的 Zernike 系数以及峰谷值、 RMS、方差、斯特列尔比、 RMS 拟合残差和最大拟合误差。

在参考平均值时，波前差的 RMS 值 σ 可定义为：

其中是波前差，是均方差，是平均波前差。 RMS 实际可以使用多种不同的方式来计算：如果忽略平均波前项，则 RMS“参考零” 结果，此计算可直接得到的平方根，但很少使用；如果从所有波前相位值中减去平均波前值（绝对相位参考没有物理意义），则 RMS“参考平均值” 。

通常， RMS 将进一步参考可最小化 RMS 的倾斜和偏移的参考球面，这相当于不仅减去平均值（即 piston 项），还减去 x 和 y 平均倾斜。这是有道理的，因为倾斜会使衍射图像质心位置偏移，但不会对像质产生 任何影响。为了简便， OpticStudio 将此参考点称为“ 质心” ，但该参考点通常只是接近衍射图像质心位 置，而不是完全在此位置上。大多数时候， RMS 被视为参考质心的 RMS 平均值，始终是三个数中（指参考零、参考平均值和参考质心） 的最小值。

 Zernike RMS 计算所使用的值是通过计算每条光线与参考球面交点的相位测量到的“原始” 光程差值。 参考球面以主光线与像面的交点为中心，其半径等于“ 出瞳位置” 长度（参阅“出瞳位置” ）。此方法不考虑参考球面中心位置因慧差改变所造成的细微影响。因此，基于 Zernike 的参考质心的 RMS 波前结果可能与 RMS 分析功能的计算结果略有不同。 

2.2 子孔径的“Zernike条纹多项式系数”计算

默认情况下，将为整个光瞳确定 Zernike 多项式。子孔径值 Sx、 Sy 和 Sr 允许仅根据光瞳的圆形子孔径部分计算 Zernike 数据。子孔径是归一化半径为 Sr 的圆形区域，与完整光瞳中心的偏离由归一化坐标 Sx 和 Sy决定。

图3 

三个子孔径数据值（ Sx、 Sy 和 Sr）都是相对于完整归一化光瞳单位圆的无量纲参数。通过以下公式可提供全孔径和子孔径归一化光瞳坐标之间的转换：

以及：

 

 ，其中 Fx 和 Fy 表示子孔径坐标， Px 和 Py 表示全孔径坐标。                                                     

2.3 斯特列尔近似公式          

通过以下近似公式使用参考质心的 RMS 来计算斯特列尔比：

 此近似公式对所得斯特列尔比超过 0.10 的单色计算有效。

此功能最多可计算 37 项 Zernike 项。所使用的特定 Zernike 项不是标准正交项，而是光瞳边缘有统一大小的归一化项。 去掉了展开式中的某些高阶项降低总项数，被选择保留的剩余项可支持高阶特殊像差的准确拟合。此组特定 Zernike 多项式有时被称为“Fringe” 或“ University of Arizona” 表示法。更正式更通用的多项式集是“标准”表示法，有时被称为“ Born & Wolf” 或类似的“ Noll” 表示法，在文章《Zernike标准多项式系数（Zernike Standard Coeffecients）》中介绍了此表示法。

下表定义了Zernike条纹多项式（Zernike Fringe Polynomails）。角度 φ 是从局部 +x 轴开始按逆时针方向测量的角度。径向坐标是归一化的无量纲参数 ρ：

图4 

 参考文献：

1. Zemax Opticstudio

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