电气比例阀和压力传感器测控精度的基本概念及其使用方法

摘要：本文针对真空压力控制过程中用到各种真空压力传感器和电气比例阀，详细解释了线性度、迟滞、重复性和灵敏度等有关测控精度的基本概念，并介绍了如何有效正确使用这些精度指标。

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一、背景介绍

在真空压力控制过程中，常会用到各种真空压力传感器和电气比例阀。这些传感器和电气比例阀一般都会在精度指标中标示出各种内容，如线性度、迟滞、重复性和灵敏度等，有些只给出一个笼统的精度指标。这些精度指标的定义往往代表着不同含义，在使用过程中要明确区分，这对于真空压力的精密测量和控制尤为重要。

本文针对真空压力控制过程中用到各种传感器和电气比例阀，详细解释了线性度、迟滞、重复性和灵敏度等参数的基本概念，解释了如何有效正确的使用这些精度指标。

二、涉及精度的基本概念

精度是一种俗称叫法，更专业的称谓是准确度（accuracy）。国际电工委员会（IEC）将精度定义为“在特定条件下通过特定程序测试设备时观察到的与特定特性曲线的最大正负偏差”。但对于压力传感器及其电气比例阀的精度定义要复杂得多，因为误差的来源可能包括非线性、迟滞、重复性、温度、零平衡、校准和湿度影响。精度对压力传感器和比例阀的成本有很大影响，更重要的是，对其测量过程的质量或效率有很大影响。选择传感器和比例阀时，了解哪些因素决定精度就显着非常重要。

尽管压力传感器和电气比例阀的精度没有一个标准定义，但有一个 IEC 标准定义了构成精度的因素。IEC 61298-2规定精度必须包括非线性、迟滞和重复性。因此大多数压力传感器和电气比例阀制造商将“精度”主要指定为非线性、迟滞和重复性的综合效应，其他误差可单独指定。下面将逐项介绍与精度有关的误差源及其相应的测量方法。

2.1 非线性及其测量方法

非线性很多时候也称之为线性度、直线度或线性误差。非线性是指压力传感器在所测压力范围内电信号输出曲线与指定直线的偏差，或电气比例阀在所输入的电信号范围内压力输出曲线与指定直线的偏差，即表示线性设备的输出偏离理想性能的程度。

计算线性误差常用的一种方法是最小二乘法，它在数学上为数据点提供了一条最佳的拟合直线 ，如图1所示。定义线性误差的另一种方法是终端基线线性度，如图2所示。终端线性是通过在输出曲线上的两个终端数据点之间画一条直线 (L1) 来确定的。接下来画一条从直线 L1 到输出曲线上数据点的垂直线。选择数据点以达到垂直线的最大长度。垂直线的长度代表终端直线线性误差。终端线性大约是最佳拟合线性的两倍。