干涉仪的使用方法（雷尼绍干涉仪XL80）

zhengdeniupi

于 2025-02-13 13:32:57 发布

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文章目录

一、干涉仪原理简单理解
二、直线电机干涉仪架设
3.干涉仪使用

一、干涉仪原理简单理解

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二、直线电机干涉仪架设

流程
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1.搭建起干涉仪保证XL80保存水平状态

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2.打开干涉仪XL-80开关，出现红点

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3.搭建光路1，反射镜（2QEW93），这里可以贴一张纸保证光可见性，来回推轴保证，光点能够大概位于镜子的中心（大概）

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4.旋转XL-80模块的镜头90°到一个白色带黑点的圈

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5.首先移动电机轴，保证反射镜（2QEW93）最靠近干涉仪XL-80，然后调节反射镜（2QEW93）（上下左右旋转）保证光点中心点与黑点中心点重合

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6.然后移动电机轴，保证反射镜（2QEW93）最远离干涉仪XL-80，这个时候会出现一个现象（刚刚调节好的两个圆中心点的重合开始偏离）

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该图就是一个示意

6.重点1来了，再远端（反射镜（2QEW93）离XL-80距离）的时候调节XL-80上面的旋钮，主要是这三个旋钮，调节到光点圆心与黑点圆心重合

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6.重点2来了，再近端（反射镜（2QEW93）离XL-80距离）的时候调节XL-80上面的旋钮，以及反射镜（2QEW93）

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7.其实第5步与第6步遵循的原则就是近大远小的原则，远端细调（细调旋钮），近段粗调（粗调旋钮、以及反射镜（2QEW93）），最终调节的效果就是来回移动轴保证保证光点中心点与黑点中心点重合

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8.开始添加中间的干涉镜，出现两个光斑

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9.该步骤只能调节干涉镜的摆放以及上面的旋钮调节，保障上面两个光点能够重合并且去黑点同轴。最后调节到下图所示

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10.最后来回移动轴保证光斑保证两个光斑重合且与黑点同轴，最后顺势正转动90°，出现5个绿灯就算光路完成

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11.将温度湿度XC-80接入系统

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3.干涉仪使用

1.选择线性模式

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2.写文件名

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3.参数配置

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4.保存配置

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5.点击采集

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6.提升采集的分辨率，以及当前位置置零

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7.点击开始

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8.过程

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9.结束保存

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10.查看数据保存数据

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11.生成补偿数据

在这里插入图片描述

12.将补偿数据填入控制器内部（固高控制器）

FileVersion:Err:1
Pos(um) Compensation(um)
0 0
10000 0.513
20000 1.483
30000 1.558
40000 2.499
50000 3.706
60000 4.223
70000 5.311
80000 6.231
90000 7.048
100000 7.914
110000 7.94
120000 8.34
130000 8.893
140000 8.983
150000 9.364
160000 9.978
170000 10.409
180000 11.269
190000 11.988
200000 12.854
210000 13.678
220000 14.787

13.重复上述步骤再次打一遍干涉仪

在这里插入图片描述

结束

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