SEMI协议介绍

SEMI自动化协议标准是由SEMI®(国际半导体产业协会)统一制定的,是行业内供应商和客户之间不断发展的技术协议集合,常用协议如下:

 设备端的主要应用

主要应用场景

  • 半导体制造前道工序:主要通过E39, E40, E87, E90, E94, E116, E148以及E157来实现设备自动化
  • 半导体制造后道工序:主要通过SEMI E122: Standard for Tester Specific Equipment Model (TSEM)、SEMI E123: Standard for Handler Equipment Specific Equipment Model (HSEM)来实现封装和测试
  • 平板显示器:Flat Panel Display (FPD)
  • 表面贴装技术:Surface Mount Technology(SMT)
  • 光伏设备:从2008年开始,光伏行业就决定采用SECS/GEM标准,应用于光伏行业的标准也称之为PV2,包含SEMI E37 (HSMS), SEMI E5 (SECS-II), SEMI 30 (GEM), SEMI E148 and SEMI E10 (OEE – Overall Equipment Effectiveness)
  • 高亮LED生产设备:High-Brightness LEDs(HB-LED),主要采用GEM300 and EDA (Equipment Data Acquisition) standards

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