什么是SECS-I?

SEMI Equipment Communications Standard 1（SECS-I）是半导体制造设备之间通信的标准协议之一。该标准使用RS-232C进行通信，并具有以下主要特点：

1.使用RS-232C进行点对点连接。
2.1位起始位 - 8位数据位 - 1位停止位结构。
3.异步（Asynchronous）/双向（Bi-Directional）
4.通过块进行数据传输。
5.1个块 = 头部（10字节）+ 数据：每个块包括10字节的头部和数据，数据的大小最多为254字节。
6.1个消息由1到32,767个块组成：消息由块的集合组成。这意味着一个消息可以包含最多7,995,148字节的数据。

LINKGENESIS的XComPRO支持SEMI E4、E5和E37，并且同时支持使用RS-232C进行的SECS-I和使用TCP/IP进行的HSMS方式。因此，根据需要，可以有效地适应工作环境的变化，使用相同的控制和操作方法。这遵循SEMI标准，可实现半导体制造设备之间的有效通信。